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| - 扫描电子显微镜中用于自动束优化的方法和装置
- 中文摘要:本发明的方法和装置为扫描电子显微镜(SEM),优选为临界尺寸扫描电子显微镜(CDSEM)定义最佳条件。 本发明提供一种图像质量监视器,其利用图像处理和优化来将图像质量保持在期望的水平。 从载物台样品中自动收集图像,同时基于图像处理确定显微镜操作参数,以便能够连续监测显微镜操作。 所述技术可以手动或自动地执行,并且产...
- 申请日:2005-6-8 申请号::US11147260
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- 用于具有线扫描的激光扫描显微镜的照明装置和用途
- 中文摘要:光束转换器从光源接收高斯源光束。 该转换器具有多个非球面凸面镜或凹面镜(1),这些非球面凸面镜或凹面镜在光束入射区域处与远离入射区域的其它区域相比是锐角弯曲的。 本发明还涉及一种照明装置的使用方法。 (2)器件布置方法; 和(3)检查细胞间转运过程的方法。
- 申请日:2005-6-7 申请号::GB0511515
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- 扫描探针显微镜中驱动X-Y扫描器的装置和方法
- 中文摘要:本发明公开了一种用于驱动扫描探针显微镜中的X-Y扫描器的装置。 所述装置包括一个或多个位置检测器,用于检测移动台的移动位置并产生移动位置信号。 所述移动台能够保持试样并从基准位置沿着X轴和Y轴中的至少一个移动。 提供控制器,用于基于来自位置检测器的移动位置信号产生多个控制信号,使得移动台沿着X轴和Y轴中的至少一个移...
- 申请日:2005-6-7 申请号::US11147908
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- 微光刻和荧光显微镜中的超分辨率
- 中文摘要:在诸如共焦激光显微镜的扫描光学系统中,光束被聚焦到样品中的斑点以激发斑点中的荧光物质或其它可激发物质, 通过提供适合于抑制可激发物质的激发的波长光束,使激发的有效尺寸小于光斑的尺寸, 将该第二光束成形为具有最小中心强度的图案, 以及将该中心最小值与聚焦光斑的中心强度最大值重叠, 从而在光斑内,淬灭光的强度随着离光斑...
- 申请日:2005-6-7 申请号::US11147792
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- 用于一激光扫描显微镜的照明装置具有点状光源的分布和使用
- 中文摘要:该照射装置为具有点型光源分布的光模式显微镜提供在至少一个横截面方向上基本均匀的光束。 将一个在横截面上基本旋转对称的原始光束,特别是高斯光束导向一个输出均匀光束(5)的转换单元(1,2)。 转换单元具有至少一个非球面,凸面或凹面反射镜,该反射镜在原始光束的入射区域和其它区域中具有更大程度的弯曲。 本发明还涉及一种使...
- 申请日:2005-6-7 申请号::GB0511516
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