原子力显微镜及其校正器和测量方法 中文摘要：一种原子力显微镜包括尖端(12)。 所述尖端被移动以确定物体的表面间隔(44)的高度，其中所述表面间隔以高于水平面的角度基本倾斜并且限定点(42a)。 原子力显微镜包括光源(31)和分析器(33)。 光源将多个光束施加到表面间隔的点上，并且所施加的光束被表面间隔反射。 分析器分析反射光束以确定水平面上方的角度。 申请日：2005-5-31    申请号：：US11141087   用于确定扫描电子显微镜的电子束的定位误差的方法和系统 中文摘要：提供了一种在表面上的相应标称位置处具有至少四个参考图案的衬底。 使用扫描电子显微镜并将晶片台定位在每个参考图案的相应标称位置，扫描每个参考图案。 在确定每个图案的至少第一和第二强度分布之后，计算偏离每个标称位置的参考位置。 参考位置偏移用于确定扫描电子显微镜的定位误差。 申请日：2005-5-27    申请号：：US11138673   扫描探针显微镜 中文摘要：要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜能够衰减的振动的一个上板的一个惯性驱动级和所述扫描探针显微镜观察原子的图像的图像。溶液 : 在所述扫描探针显微镜观察和分析该样品的表面通过所述的使用在至少一个探针，通过独立地移动各当使用多个探针的探针，一环-等阻尼材料8被一底座1上卷绕所述的惯性驱动级和所述上板7，在这种方... 申请日：2005-5-27    申请号：：JP2005155323   电子显微镜观察相位恢复系统和方法 中文摘要： 要解决的问题 : 提供一种由相位观测技术检索式电子显微镜，使强度分布的平行电子束与显微直径测量的真实图像，电子衍射图案鲜艳均匀。方法 : 在相位恢复式电子显微镜，在观察真实图像，会聚电子束照射的同时，扫描到目标区域2的样品3，一种透射电镜电子束的强度和检测到的与摄像元件(11)被显示在监视器17，在同步与用于... 申请日：2005-5-27    申请号：：JP2005155069   立式显微镜 中文摘要：要解决的问题 : 以提供一种立式显微镜，其中所述的厚度的样品被观察到的，而不管该样品通过抑制该偏差一种共轭之间的关系的一个垂直的照明光源系统，一种孔径，一物镜透镜和一后侧处的焦点最小，而不损害所述垂直照明性能。溶液 : 一粗聚焦机构25用于粗略地移动级7在所述相同的方向作为观察的光学所述物镜透镜14的轴线A和一个精... 申请日：2005-5-27    申请号：：JP2005155605   总计： 14021 篇   首 页  上一页  下一页  末 页