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| - 扫描电子显微镜与聚焦离子束复合系统
- 中文摘要:一种扫描电子显微镜(SEM)和聚焦离子束装置(FIB)的复合系统,具有用于将聚焦离子束照射到样品表面上的照射位置的FIB镜筒和用于观察加工的样品表面的加工状态的SEM镜筒。 所述FIB透镜镜筒具有限定预选图案的至少一个狭缝的孔径,使得在用聚焦离子束照射样品表面期间,所述孔径被具有覆盖所述狭缝的宽度的聚焦离子束照射,...
- 申请日:2005-2-16 申请号::US11058945
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- X-Y表和扫描探针显微镜
- 中文摘要:要解决的问题 : 以解决该问题,其特征在于,一个操作行程被大大降低,与所述壳体相比在一个房间温度,当一个样品台是通过驱动一个压电元件在低温度低于液体氮温度。溶液 : 该X-Y表,它是一种X-Y表中的可移动的所述X-方向和Y-方向,其是正交于每个其他,是配备有一弹性可膨胀\/收缩体的至少一个侧在每个方向上邻接所述X-...
- 申请日:2005-2-15 申请号::JP2005037617
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- 在扫描电子显微镜观察图像的方法和装置
- 中文摘要:要解决的问题 : 以实现一种方法和一种装置,其可以获得一种高分辨率的图像,通过减少电荷的,甚至如果它是一种非导电物质的测试件,例如一个绝缘体,半导体,等溶液 : 当所述测试件被所述绝缘体或半导体,获取所述所述高分辨率的图像需要是以减轻该电荷的影响。一个偏置电压被施加到所述测试件7从一可变功率源11。这种偏置电压的值...
- 申请日:2005-2-15 申请号::JP2005037251
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- 荧光相关显微镜检查的具有实时时间对准读出
- 中文摘要:本发明涉及一种共焦荧光相关显微镜有实时时间对准读出。与该仪器它是可能的,以进行共焦成像在一起,与所述粒子大小确定在一个选择所述样品中的位置。特别是,本发明涉及一种检测器模块与一固定孔和检测电子装置,其可以被方便地连接到现有的共焦或多光子显微镜,该显微镜的底座附近的所述物镜的透镜。这种检测器将该信号的一部分,并使用它...
- 申请日:2005-2-15 申请号::WOIN05000015
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- 显微镜系统和物镜单元
- 中文摘要:一种显微镜系统包括光源和物镜单元。 所述物镜单元包括物镜光学系统,所述物镜光学系统包括小直径远端光学系统,所述小直径远端光学系统布置在靠近样品或与样品接触的一端,用于将来自光源的光聚焦到样品上; 在联接位置的螺纹安装件; 以及包围小直径远端光学系统的外筒。 所述显微镜系统还包括成像光学系统和显微镜主体,所述成像光学...
- 申请日:2005-2-15 申请号::US11057165
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