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| - 校准装置和方法用于扫描探针显微镜
- 中文摘要：目的 : 一种校准装置和用于一种扫描探针显微镜是提供一种方法，以进行强度校正的所述SPM悬臂和测量定量负载与所述SPM。结构 : 一个用于一个扫描探针显微镜校准装置包括一个校正结构(12)，位置感应检测器(16)，和一个扫描器(13)。在所述校正结构，强度在至少一个方向是预先决定的，和该强度是决定要在一个方向移动通...
- 申请日：2004-12-30 申请号：：KR1020040116993
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- 具有照明光学系统的显微镜，所述照明光学系统与所述显微镜基座集成，以减少从所述显微镜基座到所述显微镜框...
- 中文摘要：本发明提供一种显微镜，其包括 : 框架，其支撑适于在其上放置样品的载物台；臂，其设置在所述框架上以支撑物镜；观察光学系统，其设置在所述臂上；以及照明光学系统，其包括用于照明所述样品的光源并且与所述框架集成。 固定机构通过设置在臂和框架之间的至少一个间隔件将臂和框架固定在一起。 所述间隔件具有不同于所述臂的热膨胀系数...
- 申请日：2004-12-29 申请号：：US11025382
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- 显微镜装置和控制显微镜装置的方法
- 中文摘要：计算目标观察区域与目标观察区域之间的距离，所述目标观察区域是设置用于显微镜装置的物镜的聚焦位置位于为显微镜装置中的观察目标的观察样品设置的多个观察区域中的观察区域； 在垂直于物镜光轴的平面上移动观察样品； 以及位于物镜的聚焦位置的观察区域，在该观察区域中不执行图像获取处理或刺激处理，并且与目标观察区域具有最短距离。
- 申请日：2004-12-28 申请号：：US11024380
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- 升降装置，用于交换的束线的扫描电子显微镜
- 中文摘要：目的 : 一种升降装置，用于交换一个束线的扫描电子显微镜被提供给执行容易地一种交换工作和提高检查通过交换性能一个虹膜的扫描电子显微镜通过使用一个滑轮。结构 : 框架单元(10)包括一耦合部件，其被耦合与一基部(11)的一种扫描电子显微镜(1)。一辊单元(20)被安装在所述框架单元。一种绳单元(30)是绕在一外圆周所...
- 申请日：2004-12-28 申请号：：KR1020040114360
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- 用于通过使用扫描电子显微镜分析缺陷的方法
- 中文摘要：目的 : 一种方法用于通过使用扫描电子显微镜分析缺陷是提供劣化的分析中以提高正确性和提高可靠性的半导体IC装置，构成 : 一个用于通过使用扫描电子显微镜分析缺陷的方法分析一种半导体装置的劣化和包括所述的步骤 : 照射电荷到一检查一半导体晶片的焊盘; 发送所述电荷填充在所述检查焊到一个上金属层(60a)和下金属层(5...
- 申请日：2004-12-28 申请号：：KR1020040114485
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