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| - 隧穿损耗探针扫描显微镜及其测量方法
- 中文摘要：本发明涉及一种隧穿损耗探针扫描显微镜及其 测量方法。该显微镜包括有PZT扫描管，导电金属探针及导电 样品、扫描隧道显微镜控制器、频率发生和相位检测器、前置 放大器、导电的被测样品和微型计算机。采用具有交流载波和 直流分量的偏压方法，在探针和被测表面间的交变电流幅值和 隧穿损耗角随频率变化曲线的峰值附近或斜率变化最大...
- 申请日：2004-12-28 申请号：：CN200410077617.X
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- 基于角度测量的原子力显微镜测量方法
- 中文摘要：本发明公开了一种基于角度测量的原子力显微 镜测量方法，属于原子力显微镜AFM的探针/悬臂梁信号的检 测技术。该方法采用角度传感器，入射光垂直入射AFM的探 针表面，探针转角即反射光偏转角经该传感器检测并转换成与 角度变化值成比例的电信号，经信号分析处理得到由于测力变 化而引起的悬臂梁的角度变化，进而得到探针的测力变...
- 申请日：2004-12-28 申请号：：CN200410094053.0
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- 基于角度测量的原子力显微镜测量装置
- 中文摘要：本发明公开了一种基于角度测量的原子力显微 镜测量装置，属于原子力显微镜(AFM)的探针/悬臂梁信号的检 测系统及装置。该装置是在原子力显微镜的悬臂梁位移测量装 置上采用光学差动式角度传感器，所述的角度测量装置包括准 直光源、会聚透镜、1/4波片、偏光分光镜、分光镜、两个临 界角棱镜、两个光电二极管、Z向跟踪用微动驱...
- 申请日：2004-12-28 申请号：：CN200410094054.5
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- 液体浸渍显微镜和缺陷检查装置
- 中文摘要：要解决的问题 : 以提供一种液体浸渍显微镜能够填充的浸入样品之间的液体和一种不产生空气气泡的液体浸物镜透镜。溶液 : 该液体浸渍显微镜包括 : 一显微镜光学系统，用于形成所述样品的7的放大图像通过所述物镜透镜12用于液体浸渍，其中所述透镜最近的上表面的观察侧到所述样品7是所述填充的状态浸入液体中的凹16所述样品7和...
- 申请日：2004-12-28 申请号：：JP2004381421
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- 介电损耗扫描探针显微镜及其测量方法
- 中文摘要：本发明涉及一种介电损耗扫描探针显微镜及其 测量方法。该显微镜包括有PZT扫描管，导电金属探针及下表 面具有导电层的非导电样品、扫描隧道显微镜控制器、频率信 号发生和相位检测器、前置放大器和微型计算机。采用具有较 小或不要直流分量的交流偏压方法，在探针和被测样品间电容 或介电损耗角随频率变化的曲线峰值附近或斜率变化最...
- 申请日：2004-12-28 申请号：：CN200410077616.5
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