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  • 原子力显微镜
  • 中文摘要:要解决的问题 : 提供一种原子力显微镜,可提高精度的样品中分析时,所述原子力显微镜是使用交流方式。溶液 : 一探针36被形成在所述尖端侧的一悬臂35,从一个大约延伸的板形底座部分34。所述基部34通过一安装装置30被安装到座位部分28提供与一个振荡器26。该探针36扫描样品14,同时通过使该悬臂35垂直振荡的共振振...
  • 申请日:2004-12-27    申请号::JP2004376397

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  • 使用扫描电子显微镜观察样品的方法
  • 中文摘要:一种使用扫描电子显微镜观察样品的方法,能够缩短在半导体缺陷自动检查时执行自动聚焦所需的时间,并且提高在其中观察样品的处理中的吞吐量。 在上述方法中, 利用扫描电子显微镜以低分辨率对样品成像以获得图像,从以低分辨率获得的图像中指定用于以高分辨率对样品成像的区域,利用扫描电子显微镜以高分辨率对样品成像以确定焦点位置,将...
  • 申请日:2004-12-27    申请号::US11020265

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  • 采用发光二极管的生物显微镜的照明装置
  • 中文摘要:本实用新型涉及一种采用发光二极管的生物显 微镜的照明装置,属于对生物显微镜照明系统的改进。在载物 台1的下边且与镜臂固定连接有光源承载台4,该光源承载台 4上固定连接发光二极管插座3,该发光二极管插座活动连接 发光二极管2。优点在于:采用二极管照明,结构新颖、简单、 占用的空间小,照明均匀、光源稳定、寿命长及色温与...
  • 申请日:2004-12-27    申请号::CN200420012898.6

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  • 显微镜和浸物镜透镜
  • 中文摘要:要解决的问题 : 以提供一个与其中一个观察显微镜与高分辨率和观察与低分辨率可以作为期望观察在所述的时间上改变一个衬底和所述更高分辨率可以获得在一个低的成本和一个浸物镜透镜。溶液 : 该显微镜配备有一显微光学系统,其中形成所述待检查的部分放大的图像所述包装浸液的状态中的所述待检查的部件和所述物镜之间通过所述一种液体浸...
  • 申请日:2004-12-24    申请号::JP2004373951

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  • 扫描探针显微镜的探针具有一场效晶体管的信道和制造方法,其
  • 中文摘要:目的 : 一种探针的探针显微镜具有一个FET(场效应晶体管)信道结构被设置,以形成一尖锐的尖端和提高电特性通过制造一平面FET和通过形成一种碳纳米管由所述平面上的导体的FET。结构 : 一半导体衬底上形成一掩模层后(10),光致抗蚀剂被沉积在所述掩模层和被蚀刻以形成一源\/漏极图案。杂质离子被注入到所述半导体衬底以...
  • 申请日:2004-12-24    申请号::KR1020040112159

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