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| - 扫描显微镜和光学元件
- 中文摘要：本发明公开了一种扫描显微镜，其限定照明光束路径和检测光束路径，所述扫描显微镜具有布置在照明光束路径和检测光束路径中的物镜。 所述扫描显微镜的特征在于，还设置在所述照明光束路径和[SiC]检测光束路径中的可互换模块，所述可互换模块将所述照明光束路径和所述检测光束路径以彼此固定的角度关系分开，并且包括至少第一声光部件。...
- 申请日：2004-12-15 申请号：：US11012523
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- 用于显微镜的照明系统
- 中文摘要：一种显微镜分别交换和调整照明单元具有一个附加光源(一-f)用于点或区域该样品的照明区域使用一个不同的颜色用于对比度增强和其可被激活用于一组由该显微镜光学器件由所述用户的移动时间。
- 申请日：2004-12-14 申请号：：EP04029508
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- 显微镜系统
- 中文摘要：要解决的问题 : 以提供一个适当的遮光修正灵活地对应关系，以改变在所述安装环境中效果一种显微镜的系统或照明不均匀。溶液 : 所述的显微镜系统被配备与一阶段，一个物镜光学系统，一个成像光学系统，一个成像部分; 一驱动机构，校准控制器，和一种图像处理部。该级具有一个空间用于安装一个样品。所述物镜光学系统被安装到面对样品...
- 申请日：2004-12-14 申请号：：JP2004361603
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- 显微镜装置
- 中文摘要：要解决的问题 : 以提供一显微镜装置能够显著减少灰尘粘在一样品的诸如使用一种浸物镜透镜的半导体晶片和所述水印的发生所述样品上通过快速干燥液的剩余在所述的可视检查后所述样品的样品。溶液 : 所述晶片的所述的可视检查是通过执行供给所述液体通过一供应喷嘴之间在所述所述物镜和所述晶片的引出端，所述的可视检查结束后，所述液体...
- 申请日：2004-12-14 申请号：：JP2004361296
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- 显微镜装置
- 中文摘要：要解决的问题 : 以提供一显微镜装置能够显著减少灰尘粘在一样品的诸如使用一种浸物镜透镜的半导体晶片和所述水印的发生所述样品上通过快速干燥液的剩余所述样品上进行所述的可视检查后的样品。溶液 : 所述的显微镜装置1用于执行所述的可视检查所述晶片W，是提供具有一液体干燥装置30具有一保持级31用于保持所述晶片W和一驱动部...
- 申请日：2004-12-14 申请号：：JP2004361295
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