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| - 光学显微镜，自动聚焦方法和使用该相同的观察方法
- 中文摘要：要解决的问题 : 以提供一光学显微镜能够调整焦点位置的使用一简单的结构。溶液 : 该光学显微镜包括一个观察光源30; 一物镜透镜18用于聚光的光被入射在一个样品; 一光源11用于发射一个光入射在所述物镜的透镜18对应的一个区域以所述光瞳的一半; 一分束器14，通过其从该观察光源30的光被反射，和所述的光从所述功率源...
- 申请日：2004-12-9 申请号：：JP2004356617
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- 使用扫描电子显微镜图像和二次电子信号分布测量精细图案的临界尺寸的方法，系统和计算机程序产品
- 中文摘要：本发明提供一种图案检查方法，通过获取检查图案的扫描电子显微镜图像，并获取检查图案的扫描电子显微镜二次电子信号分布来检查图案。 通过将检查图案的扫描电子显微镜图像与样品图案的扫描电子显微镜图像进行比较，并且通过将检查图案的扫描电子显微镜二次电子信号分布与样品图案的扫描电子显微镜二次电子信号分布进行比较，来确定检查图案...
- 申请日：2004-12-9 申请号：：US11008477
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- 相位对比显微镜
- 中文摘要：要解决的问题 : 以提供相位对比显微镜能够产生的一个不同的断层图像。溶液 : 所述相位对比显微镜是配备有一聚光透镜2构成一照明光学系统用于散热的发光磁通从一个源到一个输出到被检查物体的光，一环形膜片1设置在所述的光学所述的照明光学系统的路径，一个物镜3构成一个用于形成图像的图像形成的光学系统由冷凝所述光通量从所述对...
- 申请日：2004-12-9 申请号：：JP2004356136
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- 激光显微镜和彩色激光显微镜
- 中文摘要：要解决的问题 : 以实现激光显微镜和一个与其中一高分辨率的彩色激光显微镜样品图像被拾取的，而不使用昂贵的声光元件。溶液 : 在所述激光显微镜，一个线状光束发生器(12)是用于向激光束转换成非相干光束，其具有沿一个方向上发散。从激光光源产生的激光束(1，2和3)被转换成具有发散光光束沿一个方向通过所述线状光束发生器(...
- 申请日：2004-12-8 申请号：：JP2004355098
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- 扫描电子显微镜
- 中文摘要：公开了一种扫描电子显微镜，其中通过校正和控制二次电子的轨迹，由样品产生的二次电子被二次电子检测器有效捕获。 在物镜下方的一次电子束的辐射孔附近设置施加有几伏至几十伏负电位的第一辅助电极，在第一辅助电极靠近二次电子检测器的一侧设置施加有正电压的第二辅助电极，从而校正和控制二次电子的轨迹。 另外，在二次电子检测器的前表...
- 申请日：2004-12-8 申请号：：US11006556
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