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| - 探头和扫描探针显微镜
- 中文摘要：要解决的问题 : 以观察样品通过降低该效应与高精度的阻尼效果或该等，其接收从一流体到最大限度。溶液 : 该探针2是构成，以允许一个锐化探针针20以扫描该样品在一振动的状态与一预定频率和幅度。该探针2是配备有一悬臂21具有所述探针的针20提供到其前端和形成，从而可以在一个方向从其基端侧延伸到其前侧和一主体部分22用于...
- 申请日：2004-11-25 申请号：：JP2004339847
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- 圆筒压电元件和扫描探针显微镜
- 中文摘要：要解决的问题 : 以提供一圆筒压电元件和一个扫描探针显微镜，与其中的一个误差可以被校正的平直度与一简单结构的膨胀和收缩操作在一个轴向方向上，高的平直度被实现，测量精度是改进和一与一高纵横比可以安全地测量物体被测量。溶液 : 所述圆筒压电元件11被提供有一电极装置和一电压施加装置13用于执行该膨胀和收缩操作在所述轴向...
- 申请日：2004-11-25 申请号：：JP2004339962
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- 激光扫描型荧光显微镜
- 中文摘要：激光扫描型荧光显微镜，包括一激光束源单元，物镜光学系统，用于冷凝从激光束源激发光单元照射到样品上，扫描装置，用于扫描样品表面，光瞳投影镜头，其配置在扫描装置和物镜光学系统，和检测光学系统，用于检测来自样品的荧光，所述物镜光学系统具有物镜和用于形成中间图像的成像镜头样品，，并且如此构成，使得后侧物镜的焦点位置附近偶联...
- 申请日：2004-11-24 申请号：：WOJP04017374
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- 扫描电子显微镜和方法用于测量通过所述相同的工艺裕度
- 中文摘要：目的 : 一种SEM(扫描电子显微镜)和一种使用所述相同的工艺裕度检查方法被提供给校验自动所述CD(临界尺寸)的曝光能量和聚焦。结构 : 一种SEM包括一个数据存储单元，一数据比较单元; 和一个自动设定单元，所述数据存储单元(24)是用于测量和存储所述光盘的一个预定图案的。所述预定图案是一半导体晶片上形成的，所述数...
- 申请日：2004-11-24 申请号：：KR1020040096716
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- 扫描探针显微镜，测量使用相同的方法，和开尔文力显微镜
- 中文摘要：要解决的问题 : 以提供一种测量方法，其使用一扫描探针显微镜具有高定量精度，以及以提供所述扫描探针显微镜。溶液 : 该测量方法，利用所述的扫描型探针显微镜包括一个过程测量所述的物理性能值一参考样品20通过检测该物理量，一探针116和所述参考样品20之间的作用; 一在所获得的测量结果计算测量的误差的过程从所述的过程测...
- 申请日：2004-11-24 申请号：：JP2004339306
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