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| - 扫描电子显微镜中样品图像优化的装置和方法
- 中文摘要：一种用于识别扫描电子显微镜系统中探针电流的最佳着陆能量的系统和方法。 具有已知着陆能量的探针电流被引导到用于产生信号电子束的样品。 信号电子束的电流通过将电子束引导到电流检测器来测量，该电流检测器用于计算电流产额，该电流产额是信号电流与探测电流的比率。 然后，可以改变所述接地能量，以便随后测量所述信号电流，以识别产...
- 申请日：2004-11-10 申请号：：US10985144
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- 扫描探针显微镜
- 中文摘要：要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜能够获得精确的测量的数据通过消除噪声分量特有地出现仅在特定扫描方向所测量的装置。溶液 : 所述扫描探针显微镜包括 : 所述的悬臂14提供与证明13; 所述移动机构11和17，用于相对移动所述探针与样品10所述的位置; 所述检测装置，用于检测所述特定的物理量; 所述测量装置用...
- 申请日：2004-11-10 申请号：：JP2004326293
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- 扫描电子显微镜和半导体检查系统
- 中文摘要：要解决的问题 : 以增强所述通过扫描电子显微镜拍摄的图像的图像质量。溶液 : 该扫描电子显微镜中配备与一个电子源101用于照射一主电子束108在样品晶片106，一个加速电极102，一个聚焦透镜103，一偏转器104，一物镜透镜105或所述等，一个检测器110，以获得一数字图像通过从所述样品发射的电子信号109产生的...
- 申请日：2004-11-10 申请号：：JP2004326924
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- 共焦扫描和共焦显微镜
- 中文摘要：要解决的问题 : 以消除振动的问题当一个同时与多个的扫描被执行光通量和以减少所述的劣化通过只照射该区域以被观察到的荧光染料与光光束。溶液 : 该光从光源发出的光束1通过一聚焦光学系统2被condenced在一个MEMS反射镜阵列5在其许多微镜分别设置两个三维通过一种波长选择滤波器3和一个二向色反射镜4。仅所述多个特...
- 申请日：2004-11-5 申请号：：JP2004322313
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- 超高真空扫描探针显微镜
- 中文摘要：要解决的问题 : 提供一种超高真空扫描探针显微镜能够进行原位观察的具有一个一种表面结构的原子级的分辨率，同时施加一应力到一超高真空中的样品。溶液 : 该超高真空扫描探针显微镜是，其特征在于，配备有一样品架3用于支撑一个一种片状样品2的一端或两端在一真空容器中的所述超高真空状态; 应力应用机构6，7，8，其中所述垂直...
- 申请日：2004-11-5 申请号：：JP2004322873
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