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| - 扫描电子显微镜用于尺寸测量系统，电路图案的特征和评价系统和方法及其
- 中文摘要：要解决的问题 : 以提供一种用于长度测量的SEM系统能够高精度的和精确的OPC(光学接近校正)从现在是重要的评价，其在一更精细的半导体设计图案中具有先进性，和以提供一个用于一电路图案特征和评价系统及其方法。溶液 : 为了评价一种设计之间的差值数据和通过使用一形成抗蚀剂图案在详细观察所述抗蚀剂图案形成的数据通过一半导...
- 申请日：2004-10-29 申请号：：JP2004315126
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- 透镜镜筒，用于显微镜和显微镜
- 中文摘要：要解决的问题 : 提供一种透镜-镜筒用于一显微镜，其可以被用于观察对象或一个从所述对象获得的中间图像和，尽管如此，该显微镜是设计成使得所述的整个高度被最小化。溶液 : 在所述透镜-镜筒，用于所述显微镜(1)，其具有至少两个光学路径(2)其中，一切换装置被设置在所述透镜-镜筒(3)。这种开关装置使一个第一或第二的扁平...
- 申请日：2004-10-29 申请号：：JP2004315440
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- 光学装置，用于使用多光子激光显微镜中，具有色度误差校正装置与脉冲展宽器，其中展宽器是放置在光束的扩展...
- 中文摘要：一个光学装置，在特定scanmikroskop，具有一激光器(1)，优选短脉冲激光，和一个在所述的激光(1)出射光线的路径设置色机构(2)到所述校正的错误它是在这样的一种方式外设置有关于一种所述尺寸和所述的相关成本的降低使所述色机构(2)到所述的校正错误的一个pulsestretcher(3)显示出。
- 申请日：2004-10-29 申请号：：DE102004052955
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- 扫描电子显微镜和样品观测方法。
- 中文摘要：要解决的问题 : 以提供一种扫描电子显微镜和一个样品的观察方法可获得的稳定扫描图像通过充分减少电荷的影响-样品的表面上。溶液 : 该扫描电子显微镜1是设置有电子枪3a，3b，和电子发射的光束B1从所述电子枪3a具有一较高的比所述的电子的能量束B2从该电子枪3a发射的B。所述的电子束B1，B2从该电子枪3a发射的，3...
- 申请日：2004-10-28 申请号：：JP2004314394
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- 图像显示方法，程序，和扫描共焦显微镜
- 中文摘要：要解决的问题 : 以提供一个三-维图像显示方法或等允许通过一简单容易识别操作。溶液 : 一CPU10检测在所述之间的一个最亮的像素的亮度信息的那些像素，其构成多个得到的切片图像的一样品之间的相对移动的同时重复5和一个物镜透镜4和具有所述在该切片图像相同的坐标表示该像素位置，并进一步检测该样品信息在所述的高度基于该样...
- 申请日：2004-10-27 申请号：：JP2004312991
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