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| - 原子力显微镜
- 中文摘要：一种装置包括样品台，悬臂支架，悬臂力检测器，悬臂反馈系统和样品台反馈系统。 所述样品台被配置为用于保持样品。 悬臂安装件被构造成用于机械地固定具有扫描尖端的机械悬臂。 悬臂梁力检测器被配置为产生电悬臂梁力误差信号。 悬臂反馈系统被配置为响应于悬臂力误差信号以机电方式驱动机械悬臂。 所述样品台反馈系统被配置为响应于所...
- 申请日：2004-9-30 申请号：：US10954739
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- 显微镜变焦物镜
- 中文摘要：显微镜物镜(10，20，30)的一远心系统和具有高变焦比。所述物镜包括两个或三个透镜组，和每个所述的透镜组(101，102; 201，202，203; 301，302，303)具有正折射力的功率。在该透镜组的所述的装置，一个可变放大率透镜组被设置在一位置，其被最接近到一物体，以被观察到。一个第一透镜组(101，20...
- 申请日：2004-9-30 申请号：：WOJP04014397
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- 光栅显微镜和光栅-显微操作过程
- 中文摘要：一光栅显微镜与第一和至少一个进一步检测信道被揭示。第一检测信道包含在至少一个第一探测器和所述进一步检测信道包含至少一个还用于所述检测的检测器检测从一个样品的光出射。一种开关装置的目的是，其中将所述检测光可选地在第一或到所述进一步检测信道。
- 申请日：2004-9-29 申请号：：DE102004047820
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- 应用透射电子显微镜的电子束引发涂层的方法
- 中文摘要：一种用于制备用于对其应用微量分析的样品的方法，包括在半导体衬底上的限定的感兴趣区域上形成初始导电层，所述初始导电层通过电子束沉积工艺形成。 去除包围感兴趣区域的一定体积的衬底材料，从而在感兴趣区域上形成样品，包括所述感兴趣区域和所述初始导电层。 然后将样品从散装基材上移除。
- 申请日：2004-9-29 申请号：：US10711644
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- 通过扫描探针显微镜表征结构尺寸
- 中文摘要：一种方法，包括使用扫描探针显微镜(SPM)或轮廓术中的一种来表征尺寸小于约100纳米(nm)的半导体器件上的结构的尺寸。
- 申请日：2004-9-29 申请号：：US10953629
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