|
| - 图案特性使用扫描探针显微镜测量方法及其系统
- 中文摘要：要解决的问题 : 以提供一个图形特性的测量方法使用一种扫描探针显微镜能够容易地掌握在样品的形状或多个间的特性变化，其中所述相同的图案被形成并提供其系统。溶液 : 一图形指示一个参考位置被模制一种用于测量所述相同的主图形之间的区域中的一种多个样本的，和所述的基础上测量所述区域内被执行的所述参考图案。所述每个样品的测量...
- 申请日：2004-8-31 申请号：：JP2004251647
-
- 共焦显微镜，外部外观检查装置和半导体外的外观检查装置
- 中文摘要：要解决的问题 : 提供一种共焦显微镜能够补偿的所述的降低引起的光量在所述该样品的观察图像的周边区域，能够连续地和容易地改变所述的光量的一种光源和能够改变所述的照明光的波长。溶液 : 所述共焦显微镜是配备有一光源阵列30包括多个光的光源40和位于一个平面上的共轭到所述物镜的焦平面3，和一个针孔阵列22位于所述平面共轭...
- 申请日：2004-8-31 申请号：：JP2004252672
-
- 显微镜装置，外观检查装置，半导体外观检查装置，和样品的显微镜装置中的照明方法
- 中文摘要：要解决的问题 : 以提供一显微镜装置能够实现与一简单的结构的一个照明装置，用于照射一样品，它是一个观察对象和一个用于移除一特定空间频率分量的空间滤波器所述样品上的一个图案，和其照明方法。溶液 : 一光源40所述的显微镜装置被设置在所述光瞳面8的物镜的透镜3或一个平面23与该瞳孔的共轭表面上，和一个支撑装置40用于支...
- 申请日：2004-8-31 申请号：：JP2004252664
-
- 显微镜
- 中文摘要：要解决的问题 : 以提供一显微镜在其高速AF和一长行程被实现。溶液 : 而不是垂直驱动所述的整个光学系统，部分(一个物镜，一旋转器，一激光AF机构)的所述光学系统被垂直地驱动和一可动部分的重量被降低。版权 : (C)2006，膜℃。
- 申请日：2004-8-31 申请号：：JP2004251638
-
- 用于扫描探针显微镜的环境单元
- 中文摘要：一种与扫描探针显微镜一起使用的环境电池，包括电池室，安装到电池室的探针，选择性地连接到电池室的压轮，选择性地插入压轮中的样品保持器，以及连接到样品保持器以移动样品保持器的平移机构。 可以通过在压轮，样品保持器或电池室中形成的通道将气体或液体引入到环境电池中。
- 申请日：2004-8-31 申请号：：US10931059
-
|