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  • 扫描探针显微镜和悬臂
  • 中文摘要:要解决的问题 : 以得到一种扫描探针显微镜能够防止所述的检测精度降低的基于所述激光束源的相对位置关系和所述反射部的一悬臂,和以提供所述悬臂。溶液 : 所述杆部68的悬臂50被形成,从而要继续从所述半导体层56的一个光发射部分52,其构成所述的光从一个方面的半导体激光源一种材料和结构,同时探头部分74和一个反射部分7...
  • 申请日:2004-7-15    申请号::JP2004208737

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  • 用于测量晶片的电特性的方法使用一种原子力micorscope原子的一尖端和用于制造方法力显微镜
  • 中文摘要:目的 : 一种用于测量一电特性的方法使用一种原子力显微镜是提供一晶片,以精确地测量真实的驱动特性通过制作一个接触与真实图案中的探针接触。结构 : 一导电探针(100a)B是由一悬臂支持(100A)。一种晶片(w)是支持通过一个扫描器(110)。该扫描仪可以通过一个较小的单元进行精细操作比所述晶片的所述精细图案,以传...
  • 申请日:2004-7-15    申请号::KR1020040055270

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  • 光源与一微结构光学元件具有一光源和显微镜
  • 中文摘要:一光源与一微结构光学元件,其频谱扩散所述的光从一个主源,包括一透镜其focusses所述频谱扩散的光,以给出一个照明光束。所述透镜补偿用于所述改变所述频谱扩散光的频谱分量的偏差。本发明还涉及一种显微镜。
  • 申请日:2004-7-15    申请号::WOEP04051515

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  • 反射电子显微镜的图像形成和图案缺陷检查装置使用它
  • 中文摘要:要解决的问题 : 以提供一反射图像形成的电子显微镜能够服务到两个镜的电子显微镜观察和低能量电子显微镜观察在所述相同的场的视图; 和以提供一缺陷检查装置能够检测图案的缺陷部上形成一样品与高分辨率和在高使用所述的反射电子显微镜的图像形成速度。溶液 : 该反射图像形成的电子显微镜包括一个照射透镜系统的电子束照射出从一个电...
  • 申请日:2004-7-15    申请号::JP2004208871

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  • Petri,室装置,以及光学显微镜观察方法分析方法
  • 中文摘要:

    要解决的问题 : 提供一种适用于培养皿,观测分析,和治疗,例如,活细胞,实现荧光观察和微分干涉观测与盖。方法 : 培养皿上设有盖10和容器20具有贯穿的孔11和21形成中分别相对于彼此和封闭板件12和22,以允许光被透过。所述板件的至少12的盖10具有自体荧光抑制且光学均匀化,它是优选的是,通孔11的盖10由...

  • 申请日:2004-7-15    申请号::JP2004209175

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