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  • 用于显微镜的焦点检测器
  • 中文摘要:要解决的问题 : 以提供一个聚焦检测器用于一个显微镜精确地检测一个聚焦位置,即使当一个峰值强度之间的关系时获得的形状的光量信号和一个相对位置是由一图形,是平坦的。溶液 : 基于一数据行示出该所述物镜的位置和所述强度之间关系的所述光量信号,一个位置对应的z0到所述最大强度的最大所述获得的光量信号为和被设置作为一参考位...
  • 申请日:2004-7-12    申请号::JP2004205110

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  • 扭转补偿式低能电子显微镜
  • 中文摘要:公开的一个实施例涉及用于检查衬底的Leem型设备。 照明系统产生入射光束,物镜系统将入射光束聚焦到衬底上。 在这种情况下,物镜系统包括在入射光束中引起圆周速度的磁浸没透镜,并且照明系统包括在入射光束中引起圆周速度的另一磁浸没透镜,该磁浸没透镜补偿由物镜系统中的磁浸没透镜引起的圆周速度。 有利地,这使得能够改善使用磁...
  • 申请日:2004-7-12    申请号::US10889240

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  • 用于显微镜的感应驱动光源
  • 中文摘要:一种用于产生光的装置,包括具有等离子体放电区并包含可电离介质的室。 所述装置还包括磁芯,所述磁芯围绕所述等离子体放电区域的一部分。 所述设备还包括脉冲功率系统,用于向磁芯提供至少一个能量脉冲,用于向形成在等离子体放电区域中的等离子体输送功率。 所述等离子体具有局部化的高强度区域。
  • 申请日:2004-7-9    申请号::US10888434

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  • 图像处理器,微分干涉显微镜和图像处理方法
  • 中文摘要:要解决的问题 : 形成差分干涉物质而不使用一个专用的图像干扰的装置(例如, Nomarski显微镜等),溶液 : 处理用于移相的预定量的像素数据的复振幅[]θ]] 进行相对于各自的像素数据第一的表达,复振幅分布的数据组 一种物质图像(S3),以形成第二数据组。 然后, 所述第一数据组的各自像素数据和第二数据的各...
  • 申请日:2004-7-9    申请号::JP2004203684

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  • 与聚焦显微镜检测装置
  • 中文摘要:要解决的问题 : 稳定地确定一个聚焦状态或调整焦点,不管所述的状态的该样品的表面。溶液 : 所述显微镜包括 : 一种观察光学系统2用于样品的观察该图像面4a,形成由一物镜透镜6; 和一照明光学系统3用于一个索引12所述的图像投影到所述试样表面和使所述样品表面上的垂直照明。一分离棱镜8被设置在该位置,其中由所述物镜透...
  • 申请日:2004-7-9    申请号::JP2004203109

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