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| - 显微镜，特别是用于半导体制造中检查的显微镜
- 中文摘要：本发明公开了一种显微镜，特别是用于半导体制造中的检查的显微镜。 所述显微镜包括用于照明目的，优选在UV范围内的脉冲激光器。 在激光器的下游设置至少一个旋转扩散盘，以便使照明均匀。 优选地，两个旋转方向相反的旋转扩散盘直接或间接地一个接一个地设置在照明光束路径中。
- 申请日：2004-6-24 申请号：：US10875934
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- 三维显微镜系统及其图像显示方法
- 中文摘要：一种三维显微镜系统，具有显微镜和用于通过处理由显微镜获得的图像信号来显示图像的图像处理设备， 包括反射单元，该反射单元设置成使得来自物体的第一光路近似对称， 以及物镜，其设置成使得来自反射单元的第二光路近似对称， 其中，当改变物镜到成像表面的焦距时，测量图像的每个部分的遮光数据，检测每个部分的焦距位置，基于具有聚焦...
- 申请日：2004-6-24 申请号：：US10874263
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- 衬底结构的方法用于表征一个半导体衬底上形成一规则的结构使用一种扫描电子显微镜
- 中文摘要：用于表征一结构的训练一个载体衬底上的所述规则的结构的一个结构部件与一个电磁的辐射在下一第一操作模式与一高分辨率取所反射的辐射通过所述载体衬底被扫描，顺序中，以接收一收集所述结构部件的主测量签名，进一步所述结构被扫描的规则沿着若干结构中包含的扫描距离与所述电磁的辐射部件A一第二操作模式与一低溶解载体基板所反射的辐射通...
- 申请日：2004-6-22 申请号：：DE102004030122
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- 检测器用于一种扫描电子显微镜和扫描电子显微镜系统与一个对应的检测器系统
- 中文摘要：本发明涉及一种检测器系统，用于所述的一种扫描电子显微镜的样品室，由的装置，其信号传输中被同时检测到，对应到一个光场的对比度和一暗场对比度。所述检测器系统(14)包括四个检测器(15-18)在一个平面(25)，其中一个孔(19)之间的用于无电子的访问是位于。后面所述孔(19)，进一步检测器(27)被设置在一第二平面(...
- 申请日：2004-6-22 申请号：：WOEP04006715
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- 反射的光显微镜，具有照明光束路径中的声-光元件和观察光束路径耦合到分路器的组合器
- 中文摘要：本发明涉及一种与一物镜反射的光显微镜，其被设置在照明光束的路径和在一个观察光线的路径，所述光反射的光显微镜覆盖一源，其和照明的照明发出的光，其沿所述的照明光束路径的一平面objektfeld是发光二极管，其中一个样品中被定位。光学成像系统，以其中至少所述物镜属，产生一画面和\/或一个中间图像的所述样品切口在所述ob...
- 申请日：2004-6-22 申请号：：DE102004030208
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