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| - 扫描激光显微镜,和检测波长范围设定方法。
- 中文摘要:要解决的问题 : 以提供一种扫描激光显微镜和一检测波长范围可设定的设定方法容易地所述获取的最佳检测波长范围(开始波长和波长宽度),用于观察对象。溶液 : 一谱线方向一狭缝的狭缝宽度27是一个标准检测波长范围内设定一一种试剂,其是所观察的对象,通过一控制单元29,一获取的数据是由一光电倍增管28,该频谱所述狭缝27线...
- 申请日:2004-6-9 申请号::JP2004171097
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- 扫描电子显微镜的自动对准物镜孔径
- 中文摘要:一种用于CDSEM的自动对准物镜孔径组件,包括板,该板可相对于由SEM产生的电子束在X和Y方向上移动。 所述板限定一个或多个物镜孔。 提供了编码器和马达,用于影响板在X和Y方向上的运动。 图像控制器,响应于由电子束聚焦的半导体晶片特征的图像,以影响板的运动的方式控制编码器和马达,以使物镜孔径与电子束自动对准。
- 申请日:2004-6-9 申请号::US10864709
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- 用于扫描探针显微镜
- 中文摘要:要解决的问题 : 以实现一个电极膜,赋予导电性纳米管和一个悬臂和具有合适的粘合性与所述纳米管和一个用于一个扫描探针显微镜中所述悬臂。溶液 : 在所述用于所述扫描探头显微镜,一种钯膜17是所需要的区域上形成所述一悬臂的表面10突出部和所述的基端部16所述纳米管是接触与和设置在所述钯膜,在一种状态与所述引导所述纳米管的...
- 申请日:2004-6-9 申请号::JP2004171794
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- ophthalmologic操作显微镜
- 中文摘要:目的 : 用于ophthalmological操作是提供一种显微镜,以扩大通过改变一个待检查区域的位置的两个由于一个前透镜光瞳的反射图像。结构 : 一种用于ophthalmological显微镜操作包括一物镜透镜(11); 一种观察光学系统(12),一种照明光学系统,一个前透镜(40),和一个图像位置变换装置(15...
- 申请日:2004-6-8 申请号::KR1020040041657
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- 照明装置,用于DUV显微镜
- 中文摘要:要解决的问题 : 以构成一用于一DUV显微镜照明装置,使得它可供给一DUV波长带具有最大透射率和半值宽度小。溶液 : 该照明装置,用于DUV显微镜(1)被提供有一照明光束路径(6)发出从一DUV光源(5),和一个收集器(7)和一个反射滤波器系统(9)被设置在所述的照明光束路径,所述DUV波长带是通过所形成的反射滤光...
- 申请日:2004-6-7 申请号::JP2004168501
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