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  • 应用於原子力显微镜(AFM)之覆晶接合面检测方法
  • 中文摘要:本发明提出了一种应用於原子力显微镜(AFM)之覆晶接合面检测方法,主要系为获得更高影像对比的原子力显微镜观察结果;本发明利用离子束蚀刻技术对覆晶(flip chip;FC)试片进行制备的处理,主要是在调变蚀刻时间和离子束能量的两种进行方式的同时,配合一倾斜角度,除去锡球(solder ball)与金属垫(pad)间...
  • 申请日:2004-4-21    申请号::TW093111029

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  • 扫描型激光显微镜装置
  • 中文摘要:要解决的问题 : 以提供一种扫描型激光显微镜装置,其可以容易地和准确地控制所述光具有多个波长的激光光的强度或其异常可以容易地被指定的地方。溶液 : 所述扫描型激光显微镜装置通过其发射的光从照射样品15是通过将观察到在一起的多个激光发射的光束a和b的由多个的LDS3和4以及扫描所述AB样品15与所述的复合激光光通过一...
  • 申请日:2004-4-20    申请号::JP2004124183

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  • 扫描激光显微镜
  • 中文摘要:要解决的问题 : 以提供一种扫描激光显微镜能够精确地照射一样品中目标位置的与激励激光的光即使当一个观察方法被切换。溶液 : 扫描控制在激光的光用于通过一种刺激刺激基于激光的光扫描装置41是校正在校正信息预先存储在存储部45即使如果相对移位是所述的扫描位置中引起激励激光器的激光的光用于观测和所述扫描位置的光用于刺激由...
  • 申请日:2004-4-20    申请号::JP2004124326

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  • 扫描探针显微镜
  • 中文摘要:本发明提供一种SPM,该SPM具有在用扫描器替换扫描器时,在控制器中自动设置扫描器特有的参数信息的功能,而不需要操作者的手动操作。 扫描探针显微镜包括用于表示扫描器的一部分中的扫描器上的信息的装置,以及用于解释该信息的装置和用于在控制器中基于安装扫描器的主体侧上的解释的信息来设置感兴趣的扫描器特有的参数信息的装置。
  • 申请日:2004-4-20    申请号::US10828002

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  • 掩模对准器具有显微镜系统能够同时观察多个对准标记和调整的光学轴
  • 中文摘要:该装置的所述目的,相对设置的所述图像采集单元的每个其它一对图像的放大的部分使用在另外一个对准标记的所述的光学轴和一个光源和一个附加对准装置或另外没有一个伪材料上的透明在所述掩模,以对准标记和半导体如晶片和所述等; 在对准观察不透明材料在真实时间对准标记,其可以被配置以进行所述区域一种显微镜系统的下电极104被提供所...
  • 申请日:2004-4-19    申请号::KR2020040010681

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