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| - 扫描电子显微镜
- 中文摘要：本发明的目的是防止由于初级电子束偏离扫描电子显微镜的光轴而导致的离轴像差增加而导致的分辨率下降。 本发明提供了一种扫描电子显微镜，该扫描电子显微镜具有图像移位偏转器系统，该图像移位偏转器系统包括两个分别设置在上和下阶段的偏转器。 位于下部的偏转器为多极静电偏转电极，并设置在物镜中。 即使图像偏移的距离大，也能够形成...
- 申请日：2004-4-6 申请号：：US10817834
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- 扫描探针显微镜和光刻装置
- 中文摘要：要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜可光刻的图像在高的速度和大吞吐量。溶液 : 所述扫描探针显微镜中，多个探针的每个具有多-探针头安装到一第一移动装置。该多个多-探针头被安装到一个第二的移动装置。一种装置用于保持一个待测样品具有一第三移动装置。版权 : (C)2006，膜℃。
- 申请日：2004-4-6 申请号：：JP2004112169
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- 照明装置和具有相同的显微镜装置
- 中文摘要：要解决的问题 : 提供一种显微镜装置，实现观察通过激光束的总反射或观察由白光的总反射或白光通过入射光的照明观察，使用一单个装置。溶液 : 该照明装置，用于照明一样品通过一个物镜，G6一激光光束的照明光学系统2和一种白光的照明光学系统4。所述激光束照明光学系统2发射激光的总反射照明光至所述样品O，和所述白光的照明光学...
- 申请日：2004-4-6 申请号：：JP2004112374
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- 入射光显微镜
- 中文摘要：要解决的问题 : 以提供一入射光显微镜，很容易地操作，以被聚焦并且还实现良好的观察自由从所述光量的损失，即使在暗视场观察。溶液 : 在所述反射镜表面上聚焦的情况下样品或等，执行聚焦是通过移动一个固定隔膜保持件21沿一导向槽20，插入一个固定光阑22为一光学路径通过一径向距离(T)，和正常现有制作一固定光阑图像进行观...
- 申请日：2004-4-6 申请号：：JP2004112490
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- X-射线显微镜
- 中文摘要：要解决的问题 : 提供一种X-射线显微镜观察该样品的无损内，而不需要复杂的预处理，即使用于X-射线不透明材料。溶液 : 所述的热从所述灯丝4发射的电子7的钨等，和通过一个电磁透镜会聚这种作为该聚光透镜8，和所述物镜透镜9，是由以照射所述目标10的钨等; 发射所述X射线(荧光X-射线)，它被反射由该样品安装在所述样品...
- 申请日：2004-4-5 申请号：：JP2004111065
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