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| - 低真空扫描电子显微镜
- 中文摘要:要解决的问题 : 以实现一种低真空SEM通过一个排气系统仅与一个非常简单的结构。溶液 : 通过安装一个真空阀7在所述排气路径6的方式从一个排气泵5到一个样品室3,所述的真空度的所述样品室3和一个电子枪室1被单独调整。也就是说,如果所述排气的真空阀7被封闭在所述中间,排气的所述样品室3几乎停止,因此,该空气压力被保持...
- 申请日:2004-3-1 申请号::JP2004055601
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- 显微镜系统
- 中文摘要:显微镜系统,所述显微镜系统具有限定所述显微镜系统的中心光轴(14)的物镜(10); 具有与所述中心光轴重合的中心的光束集线器单元(18、20)、围绕所述中心光轴径向布置的多个光束端口(24、26、30、32; 214)、布置在所述集线器单元的中心的光束复用器系统(22、28、222)、以及用于围绕所述中心光轴旋转所...
- 申请日:2004-3-1 申请号::DE112004000341
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- 照明系统,狭缝灯使用的照明系统和显微镜使用照明系统
- 中文摘要:要解决的问题 : 以提供一种照明系统,一种狭缝灯使用该照明系统和一种显微镜,使微型化和抑制的热生成和抑制该不均匀亮度。溶液 : 一光源部20是本发明提供了用一种第一的光发射元件组24包含的多个光发射元件21设置在平行于一个参考表面,和一种第二的光发射元件组25包括一种多个的光发射元件21设置在所述的前\/后沿所述发...
- 申请日:2004-3-1 申请号::JP2004056743
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- 原子力显微镜探针装置及其制造方法
- 中文摘要:一种原子力显微镜探针装置,包括:一探针座; 一固定于探 针座、具有至少一可设置针尖的末端的悬臂;以及设置于该悬 臂末端用作针尖的碳纳米管。其中,该探针悬臂末端的顶部形 成有一具有孔洞的平面,该碳纳米管由该孔洞基本垂直于该平 面长出。本发明还提供上述原子力显微镜探针装置的制造方 法。本发明采用X光深刻电铸模造制程处理...
- 申请日:2004-2-28 申请号::CN200410015593.5
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- 扫描探针显微镜探针的制造方法,检查方法和使用方法
- 中文摘要:一种具有由单壁碳纳米管制成的锋利头部的扫描探针显微镜探针的制造方法,包括将催化剂金属赋予探针主体的尖端, 然后在扫描探针显微镜中在惰性气体气氛中通过在针状碳电极之间引起的电弧放电照射探针体尖端的催化部分,以在催化部分生长单壁碳纳米管, 以及一种检查方法及其使用方法。
- 申请日:2004-2-27 申请号::US10787228
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