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| - 显微镜系统与光束集线器单元具有光束多路复用器，用于交替地选择波束端口
- 中文摘要：本发明涉及一种显微镜系统包括一个物镜(10)限定一中央光学轴(14)的所述显微镜系统; 一个光光束集线器单元(18，20)具有一中心与所述中央光学轴重合，多个光光束端口(24，26，30，32，214)径向布置的所述中心周围的光学轴，一束多路复用器系统(22; 28，222)设置在所述轮毂的所述中心单元，和装置，用...
- 申请日：2004-2-19 申请号：：WOEP04001638
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- 暗场干涉共焦显微镜的方法和装置
- 中文摘要：一种用于测量物体的差分干涉共焦显微镜，该显微镜包括 : 源侧针孔阵列； 探测器侧针孔阵列； 以及干涉仪，其将源侧针孔阵列的针孔阵列成像到位于位于物体所在位置附近的物体平面之前的第一斑点阵列和位于物体平面之后的第二斑点阵列上， 其中第一和第二光斑阵列在垂直于物体平面的方向上彼此相对位移， 干涉仪还(1)将第一光斑阵列...
- 申请日：2004-2-19 申请号：：US10782058
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- 纵向差动干涉共焦显微镜
- 中文摘要：一种用于测量物体的差分干涉共焦显微镜，该显微镜包括源侧针孔阵列； 探测器侧针孔阵列； 以及干涉仪，其将源侧针孔阵列的针孔阵列成像到位于位于物体所在位置附近的物体平面之前的第一斑点阵列和位于物体平面之后的第二斑点阵列上， 其中第一和第二光斑阵列在垂直于物平面的方向和平行于物平面的方向上彼此移位， 干涉仪还将第一斑点阵...
- 申请日：2004-2-19 申请号：：US10782057
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- 显微镜系统
- 中文摘要：显微镜系统，所述显微镜系统具有限定所述显微镜系统的中心光轴(14)的物镜(10)； 具有与所述中心光轴重合的中心的光束集线器单元(18、20)、围绕所述中心光轴径向布置的多个光束端口(24、26、30、32; 214)、布置在所述集线器单元的中心的光束复用器系统(22、28、222)、以及用于围绕所述中心光轴旋转所...
- 申请日：2004-2-19 申请号：：DE112004000340
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- 垂直differantial干涉共焦显微镜
- 中文摘要：一种用于测量测量目标的差分干涉共焦显微镜，显微镜，由源侧针孔阵列，探测器侧针孔阵列; 和一种干涉仪，成像针孔阵列的源侧针孔阵列到一第一阵列点位于前的物平面位于靠近其中该对象定位到第二阵列点后面的物平面，其中第一和第二光斑阵列彼此偏离，在两个方向正常的物平面和方向平行于物面，干涉仪还成像点第一阵列在第一图像平面上的探...
- 申请日：2004-2-19 申请号：：JP2006503718
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