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  • 装置用于调整量的一种的多个激光光源的光,和使用该相同的激光显微镜
  • 中文摘要:要解决的问题 : 以解决该问题的一种激光显微镜,其激光功率显著地不同取决于一个选择光源,不能得到适当的振幅中得到的在一个检测信号。溶液 : 具有多个激光光源的所述激光显微镜是配备有一选择装置,用于选择激光从每个光源的光,一调光器装置,用于调整所述从所选择的光的激光光量,一种光检测装置,用于检测所述量的所述调光器的控...
  • 申请日:2004-2-18    申请号::JP2004041862

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  • 扫描探针显微镜配备有扫描电子显微镜
  • 中文摘要:要解决的问题 : 以解决该问题,其中一个噪声是示出在一个SEM图像和一个SPM所述SEM的图像由于振动。溶液 : 一样品的观察装置是配备有一样品的观察室存储一种样品内部和保持在所述的真空状态,一个扫描探针显微镜用于检测一个物理量之间的作用一探头和所述样品,带电粒子的显微镜观察该样品,和第一的底座具有一个振动隔离装置...
  • 申请日:2004-2-18    申请号::JP2004040756

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  • 显微镜装置,用于处理显微镜图像的方法,和用于检查半导体器件的方法
  • 中文摘要:要解决的问题 : 以提供一电子显微镜可创建次级电子和透明的电子图像的被通过该结构在所述的内部不影响薄的膜样品。溶液 : 一个电子装置的显微镜装置包括一个电流表14用于检测所述微弱的变化之间的流电电流,其一个样品夹持器到其中一个观察样品被安装和布线接地到所述接地,当电子光束被照射到一薄的片样品; 和一个信号处理装置1...
  • 申请日:2004-2-18    申请号::JP2004041403

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  • 具有测量功能的扫描电子显微镜
  • 中文摘要:本发明提供一种扫描电子显微镜,该扫描电子显微镜能够一次有效地对多个测量项目进行测量,并且能够容易地输入,确认和修改自动测量参数。 将用于从扫描电子显微镜捕获的图像创建线轮廓的参数作为自动测量参数(AMP)输入,以用作所有测量项目的公共条件。 另外,输入多个边缘检测方法和测量计算方法的组合作为自动测量参数,以对多个项...
  • 申请日:2004-2-18    申请号::US10779848

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  • 扫描探针显微镜
  • 中文摘要:要解决的问题 : 由遗忘,以防止不当引起的测量输入的设定或输入错误,在更换所述的一种扫描仪的。溶液 : 一扫描器单元是配备有IC存储器中的其中一个控制参数被预先存储。一数据读取部分33读取的数据从所述IC存储器104所述扫描仪单元10安装在一底座21,当电源被接通和一个控制部分31保持该数据在所述内部存储器。在所观...
  • 申请日:2004-2-17    申请号::JP2004040055

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