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| - 扫描探针显微镜和样品观察使用这种方法和半导体装置的制造方法。
- 中文摘要：一扫描探针显微镜能够测量该样品准确的3-d的形状信息与高吞吐量不损坏样品。一种准确获取所述的方法3-样品D的形状而不损坏该样品通过允许一个探针以仅接触一个待测点，提拉和缩进所述探针暂时移动时它以所述下一待测点，和然后移动它朝向并允许它接近该下一个点到被测得的，其中一个缩进距离最小的要求可以通过分析所述的偏转信号和扭...
- 申请日：2004-1-29 申请号：：WOJP04000821
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- 用于测量半导体晶片上形成一结构E的方法。G。用于制造集成的电路，包括使用光栅的电子显微镜与电子束源和...
- 中文摘要：本发明涉及一种程序用于所述测量的一种结构在一半导体晶片与一扫描电子显微镜; 其中所述以下步骤实现的 : 一个第一美元成为一半导体晶片(5)与一结构(10)与数个quidistand列(12)由可用beabstandeten，其中所述列(12)被实现在一个距离(16)，其等于所述所列的宽度(14)(12)。随后，一种...
- 申请日：2004-1-29 申请号：：DE102004004597
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- 操作显微镜装置
- 中文摘要：目的 : 一种操作显微镜装置具有一个前透镜设置在前一个物镜的透镜被提供到移动。通过提高安全地操作显微镜向上和向下一所述操作显微镜装置的结构。结构 : 一个操作显微镜装置包括一个操作显微镜，一个透镜支撑臂，一个前透镜，一控制单元，和一开关，所述操作显微镜(15)被支撑到一个柱通过一个电操作的升降装置(17)。所述透镜...
- 申请日：2004-1-29 申请号：：KR1020040005710
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- 传输电子显微镜
- 中文摘要：要解决的问题 : 以提供一传输电子的显微镜系统，其找到一个物镜观察区域在一个大观察区域自动地在短时间和获得一个希望的传输电子显微镜图像。溶液 : 一个计算机5确定是否获得一图像信号是用于一个整个网格M区域，利用一拼接技术。所述的计算机5执行图像处理获得的图像，并确定其位置中的所述网状的一个样品。一个视图的画面，它是...
- 申请日：2004-1-29 申请号：：JP2004020893
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- 准确的传输电子显微镜轴的调整方法及其装置。
- 中文摘要：要解决的问题 : 以调整所述轴的一个传输电子显微镜通过使用一种结晶样品。溶液 : 该结晶与入射电子的照射样品4具有一个微小区1被设置通过移它从一个规则的聚焦样品位置3，和TEM图像7是一种共轭表面上观察到的在所述规则聚焦样品位置3。一布拉格衍射图像8所述结晶的样品是从一个高斯图像偏移由于像差。这种应用包括一通过估计...
- 申请日：2004-1-28 申请号：：JP2004020121
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