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  • 无分束器的共焦显微镜装置
  • 中文摘要:一种用于同时检查衬底表面上的多个斑点的显微镜装置,包括至少一个基本上平行的照明源,该照明源指向不平行于光轴的方向, 光学装置和光学传感器阵列,所述光学装置被配置为引导所述基本平行的照明以照明所述衬底表面上的间隔开的斑点,并且用于从所述斑点返回辐射,所述光学装置被配置为引导所述基本平行的照明以照明所述衬底表面上的间隔...
  • 申请日:2003-11-20    申请号::US10716552

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  • 垂直对准的纳米结构扫描探针显微镜尖端
  • 中文摘要:本发明描述了用于悬臂结构的方法和装置,所述悬臂结构包括垂直对准的纳米结构,特别是垂直对准的碳纳米纤维扫描探针显微镜尖端。 一种方法包括一种方法,该方法包括制造具有垂直对准纳米结构的悬臂结构,该纳米结构包括 : 在衬底的第一侧形成掺杂层; 在衬底的第二面上沉积蚀刻掩模层; 形成多个对准标记,所述多个对准标记耦合到所述...
  • 申请日:2003-11-19    申请号::US10716770

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  • 透射电子显微镜和三维观测方法
  • 中文摘要:发出的电子束的电子束源,和偏转的在不同方向偏转板形成第一电子束E1和第二电子横梁E2。第一电子束E1入射到样品的给定部分在角度θ1a,和第二电子束E2入射到样品的相同部分以一角度θ2a的。第第一图像和第第二图像的部分的样品经过第一电子梁E1,第二电子束E2结合在三维显示装置显示所述样品的所述部分三维。
  • 申请日:2003-11-19    申请号::EP03257301

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  • 光学显微镜测量装置
  • 中文摘要:要解决的问题 : 以提供一测量装置能够容易调整的工作,关于所述测量装置,用于通过允许激励光干涉测量物理性能,形成一个衍射光栅从而,和衍射探头的光。溶液 : 该装置是配备有一光学显微镜体21,一种激励光入射光学系统,其中每个激励光e1,E2通过不同的外围部分的一物镜透镜32,和所述两个激励光的E1,E2通过所述物镜后...
  • 申请日:2003-11-19    申请号::JP2003388725

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  • 光学显微镜测量装置
  • 中文摘要:要解决的问题 : 以提供一测量装置由一个总反射热透镜的方法能够容易地调整所述激励光之间的聚焦点和探针光到一个样品干扰或到一个测量点。溶液 : 该装置是配备有一光学显微镜体16,用于观察光学测量点,一光源20,用于照射所述激励光E,激励光入射光学系统,其中所述激励光中的E进入与光学轴线平行的一物镜透镜12和通过所述物...
  • 申请日:2003-11-19    申请号::JP2003388726

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