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| - 扫描电子显微镜
- 中文摘要：为了提供一种从微调到复查全自动进行调查工作的全自动扫描电子显微镜， 本发明的扫描电子显微镜具有计算坐标校正后的校正精度并用矢量39显示的功能， 在坐标校正之后，根据所获得的信息自动确定用于自动检测物体的搜索放大率的功能，以及根据搜索放大率和测量条件计算物体或缺陷的出现频率和测量所需的时间的功能。
- 申请日：2003-11-12 申请号：：US10704821
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- 体视显微镜
- 中文摘要：体视显微镜(1)包括一个物镜(2)，一个变焦系统(7)设置所述物镜的下游，和一个偏转元件(5)。用于偏离观察光束为对应的所述变焦系统的放大\/观察信道。所述变焦系统具有至少三个水平放大\/观察信道。优选的特征 : 所述变焦系统具有四个放大\/观察信道。
- 申请日：2003-11-12 申请号：：EP03026040
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- 体视显微镜
- 中文摘要：所述体视显微镜(1)具有一个物镜(6)，接着通过一变焦系统(8)，与所述的光学轴(6a)的所述物镜在一个角度，以所述的光学轴(9)的所述的变焦系统和一号偏转元件(10，12a，。。12e)，用于偏转该光束从所述物镜向所述变焦系统和偏转该光束从所述变焦系统沿一进一步的平行轴(15)。至少一个光学元件(19)...
- 申请日：2003-11-12 申请号：：EP03026041
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- 扫描探针显微镜能够测量的液体中
- 中文摘要：要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜能够测量液体中的用于稳定地保持液体的近一悬臂。溶液 : 一内孔是提供一种螺钉101拧入底座121，和一线圈弹簧102使被一弹簧件和一个球103被放入该系列中的孔。一板105具有一孔104正好安装到所述球103。一孔107被提供所述板105的中心附近，和一枢轴螺钉106通过所...
- 申请日：2003-11-12 申请号：：JP2003382874
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- 扫描电子显微镜
- 中文摘要：要解决的问题 : 提供一种扫描电子显微镜配备有一对象的透镜具有一孔，能够有效检测二次电子从一个样品通过一个二次电子探测器产生的。溶液 : 该扫描电子显微镜包括一个电子束源4，一种电子光学系统8控制和照射所述从所述电子束源4发射的电子束20在该样品10，和一个样品台11用于安装该样品10。一孔口31被设置在该部分，其...
- 申请日：2003-11-11 申请号：：JP2003380796
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