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  • 用于原子力显微镜悬臂与方位角力传感器
  • 中文摘要:要解决的问题 : 以提供一种使用用于一种原子力显微镜悬臂通过整合形成一高度敏感力位移传感器。溶液 : 利用一种表面声波元件中的(saw)一个谐振器,其中一个叉指电极被用作一个压电材料是用于检测所述悬臂的所述力位移。
  • 申请日:2003-10-6    申请号::JP2003347346

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  • 扫描器的扫描探针显微镜与等效
  • 中文摘要:字段 : 扫描探测显微镜。物质 : 扫描器的扫描探测显微镜与等效包含一个管扫描器,扫描器等效,形成中制成的机械独立管元件的位移。扫描器等效包含运动传感器。扫描器和等效运动元件被连接到控制块。控制电极的相互位置的机械扫描器的独立元件的等效位移是等的相互位置控制适当的扫描器元件的电极。通过比例控制信号的值的变动,扫描器...
  • 申请日:2003-10-3    申请号::RU2003129299

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  • 透射电子显微镜
  • 中文摘要:一种透射电子显微镜,其能够获得与现有透射电子显微镜的空间分辨率相对应的高分辨率,宽视场TEM图像。 显微镜包括四个CCD摄像机,例如使它们的光纤管倾斜。 所述第一光纤管从点A向点B倾斜。所述第二光纤管从点A向点E倾斜。所述第三光纤管从点A向点D倾斜。所述第四光纤管从点A向点D倾斜。所述第二光纤管从点A向点E倾斜。所...
  • 申请日:2003-10-3    申请号::US10678956

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  • 显微镜
  • 中文摘要:要解决的问题 : 为了解决这样的问题,其操作是麻烦的,因为观察者必须命令开始的焦点检测操作中,以便重新启动一个聚焦检测器在改变所述物镜的放大率或改变一观察点在所述传统技术中所观察的中间。溶液 : 该显微镜是配备有一物镜光学系统用于观察样品和一个聚焦检测器用于检测所述所述物镜光学系统的焦点位置。它是配备有一物镜光学系...
  • 申请日:2003-10-3    申请号::JP2003346203

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  • 扫描电子显微镜制造集成的电路系统和方法
  • 中文摘要:要解决的问题 : 以提供一强度的方法和系统用于分析一个晶片的轮廓包括一扫描所述晶片的步骤,以产生一扫描信号。溶液 : 所述的方法和系统用于分析一个衬底(120,用于扫描所述基板的例子)包括所述步骤(120,用于例如)以产生一个强度信号,其表示所述晶片的形貌(120,用于例如)以一种第一阶。其它的贡献给该强度信号可以...
  • 申请日:2003-10-3    申请号::JP2003345733

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