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| - 电子束检测器，扫描型电子显微镜，质谱仪和离子检测器
- 中文摘要：在电子束检测器中，光导将化合物半导体衬底的荧光发射表面光学耦合到光检测器的光入射表面，并且将化合物半导体衬底与光检测器物理连接，从而将化合物半导体衬底与光检测器集成在一起。 当化合物半导体衬底将入射电子转换成荧光时，光导将荧光引导到光电检测器，光电检测器检测荧光，从而检测入射电子。
- 申请日：2003-8-27 申请号：：US10470847
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- 共焦显微镜，光的高度测量方法和自动聚焦方法。
- 中文摘要：一个共焦显微镜，包括一个装置用于扫描一个从一光源的光通过一个共焦图案在一个样品通过一个物镜，一个共焦光学系统用于聚焦该光从所述样品通过所述共焦图案通过所述物镜上的一个光电转换装置，以得到一种共焦图像，和一可变限流器设置在所述物镜上的一个眼睛位置或在一个位置上与所述眼睛位置共轭所述所述光源和所述物镜之间的物镜和允许在...
- 申请日：2003-8-26 申请号：：KR1020037011202
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- 焦点移动机构和使用其光学显微镜
- 中文摘要：要解决的问题 : 以提供一焦点移动机构能够高的速度运动的一个焦点由于振动是紧凑的和不发挥效果，以一样品或等通过提供一种光学元件具有正折射光焦度和一个光学元件具有负折射光焦度分别由至少各一个光学一物镜和光源之间的元件，所述光学元件改变所述的距离，和以提供一个光学显微镜使用该焦点移动机构。溶液 : 该焦点移动机构移动所...
- 申请日：2003-8-26 申请号：：JP2003300752
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- 使用扫描电子显微镜扫描半导体晶片的方法和装置
- 中文摘要：本发明公开了一种用于扫描样品表面以用于缺陷检查的装置和方法。 扫描电子显微镜(SEM)用于扫描样品的表面。 SEM所使用的扫描方法包括以下步骤 : 从粒子束发射器产生粒子束，并且通过将粒子束相对于样品表面弯曲一个角度来扫描样品表面，其中粒子束穿过一个不平行或不垂直于样品取向的角度。 扫描的样品是半导体晶片或光掩模。
- 申请日：2003-8-26 申请号：：US10649599
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- 立体显微镜
- 中文摘要：一种立体显微镜，包括安装在壳体的一端的两个目镜和安装在壳体的相对端的物镜。 在壳体的相对端部之间是可旋转地安装的透镜放大率转换器，其具有三个系列的孔，所述孔沿直径方向延伸穿过所述可旋转地安装的透镜放大率转换器。 对于每个目镜，视线延伸到棱镜组件，穿过包含透镜组件的一系列孔中的一个并穿过物镜。 两条视线位于同一平面内...
- 申请日：2003-8-25 申请号：：US10646929
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