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  • 扫描电子显微镜
  • 中文摘要:它被硬用于常规sems以采取测量在一个高的速度和采取准确测量当一个绝缘体与探针之间存在一个对象和所述检测器,因为该传统sems使用一种连续电子束。还,它是不可能的,以在所述测量电流的施加电压到所述样品。通过脉冲调制所述电子束和一个高频信号分量中提取从所述样品,这里公开了新的SEM设备检测所述样品中吸收的电子在一高的...
  • 申请日:2003-8-25    申请号::JP2003299477

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  • 扫描探针显微镜
  • 中文摘要:要解决的问题 : 以提供一种用于测量所述的电特性的扫描探针显微镜样品能够简化的一种电探针之间的路径和一个测量装置的一个电电路,降低效果的外部电噪声和浮动电容,和促进所述附件和去除的一种内部电电路板而不破坏真空的所述显微镜。溶液 : 所述扫描探针显微镜包括所述的电气电路板13; 一个机构14用于保持一悬臂; 和一导电...
  • 申请日:2003-8-25    申请号::JP2003299514

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  • 一种用于宽带显微镜的折反射成像系统
  • 中文摘要:公开了一种用于检查的系统和方法。 所述设计包括用于与波长在不同范围内的光能一起使用的物镜,所述范围包括大约266-1000nm,157nm到红外,以及其它范围。 所述物镜包括 : 聚焦透镜组,所述聚焦透镜组包括被配置为接收光的至少一个聚焦透镜;场透镜,所述场透镜被定向为接收来自所述聚焦透镜组的聚焦光能并提供中间光能...
  • 申请日:2003-8-22    申请号::US10646073

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  • 激光扫描型荧光显微镜
  • 中文摘要:要解决的问题 : 以提供一激光扫描型操作和可激发的荧光显微镜简单和检测至少三个荧光着色物质通过一个测量。溶液 : 所述激光扫描型荧光显微镜具有一个激光光源部1和一个检测部分,用于检测从样品发出荧光8与所述从所述激光光源的光照射部1。所述激光光源部1是用于允许所述样品构成一个超短脉冲激光的8到通过两个光子激发发射荧光...
  • 申请日:2003-8-22    申请号::JP2003299027

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  • 扫描电子显微镜装置
  • 中文摘要:要解决的问题 : 以提供一种小型化的扫描电子显微镜能观察所述的可选的位置的一大样品,和能够很容易地获得的三-维图像。溶液 : 多个电子-光的透镜筒1被设置面到与所述样品表面3在一个平坦的形状在该框架5的一真空容器。一个压电元件扫描器2扫描位置,其中电子束被施加到该样品3通过改变所述的电子光学透镜筒1的相对位置和所述...
  • 申请日:2003-8-22    申请号::JP2003298786

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