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  • 荧光显微镜
  • 中文摘要:要解决的问题 : 以提供一个荧光显微镜,其可以精确地被检测到的聚焦位置而不施加任何影响。在一个观测的荧光图像。溶液 : 一种二向色镜17用于引入红外照明光用于自动聚焦之间被设置在所述光学路径一种二向色镜23用于引入照明光(L1)和一个物镜8。在自动聚焦,通过一个自动聚焦装置所产生的红外照明光2是由所述二向色反射反射...
  • 申请日:2003-8-13    申请号::JP2003293040

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  • 光束引导装置,成像方法,电子显微镜系统和电子光刻系统
  • 中文摘要:一种电子显微镜系统,包括物镜(19),该物镜将可在X方向上移动的场成像在固定束轴(17)上。 所述物镜具有由固定轴上的光束整形器(63)补偿的像散效应。 另外,透镜结构可选择性地作用于初级电子束或次级电子束。
  • 申请日:2003-8-12    申请号::US10638328

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  • 显微镜的照明装置
  • 中文摘要:本实用新型公开了一种显微镜的照明装置,包含 有聚光镜、集光镜,其中集光镜由可变光栏、集光镜片组、光 源、集光镜座组成,其中在聚光镜的下方且位于光源的上方设 一全息散射板,全息散射板的轴心与光源、聚光镜、集光镜镜 片组轴心重合。由于全息散射板透光率高且具有一定的散射功 能,因此光线在全息散射板的作用下,光线在作用的范...
  • 申请日:2003-8-11    申请号::CN03273430.1

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  • 发射源具有碳纳米管,电子显微镜和使用所述相同的电子束光刻装置
  • 中文摘要:目的 : 提供一种高度可靠的电子源在其中一个碳纳米管和一导电衬底之间的欧姆接触可被固定,并且其具有一足够的接合强度和的一束是容易在调整轴,以及其电子显微镜中使用相同的损伤降低到一个测试片,降低成本的,和减小尺寸是通过一种实现更高的分辨率,更高的亮度,与所述传统的模型相比,加速电压下,和一个电子束光刻装置实现较高的清...
  • 申请日:2003-8-11    申请号::KR1020030055263

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  • 扫描电子显微镜
  • 中文摘要:要解决的问题 : 以容易地找到一个场的范围外的领域。溶液 : 一样品9是由一个电子束2扫描。一个二次电子信号从所得到的样品9是由一检测器14a检测和\/或一个14b,以及该样品的一个图像被显示在一个第一上显示一个图像显示装置15的表面区域所述所检测的基础。该样品图像被存储在存储装置16与一个所述图像的位置作为图像用...
  • 申请日:2003-8-11    申请号::JP2003207032

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