使用一个带电粒子光束的光掩模上的缺陷修复和形貌数据从一个扫描探针显微镜 中文摘要：地形数据从一个扫描探针显微镜或类似的装置是作为一种替代用于端点检测，以允许使用一精确的相位移光罩中修复缺陷的带电粒子光束系统。所述的形貌数据从一个缺陷区域被用于创建一个半透明的地形地图的显示，其可以被叠加在带电粒子光束图像。该形貌的图像密度和所述两个图像的所述对准可以通过调整所述运营商为了准确位置该光束。也可以使用... 申请日：2003-8-8    申请号：：WOUS03025801   扫描光学显微镜 中文摘要：要解决的问题 : 以使裸眼观察与所述相同的光谱特性与光点扫描观察，以使一装置小尺寸。溶液 : 所述扫描型光学显微镜是配备有一第一用于通过所述的光从光的光学路径源1通过一个用于一个样品上的点照明物镜5，第二的光学路径，用于会聚该光从该光源1附近的所述物体的光瞳平面5到光一样品视场与厚的光通量，一个光偏转装置3，其被设... 申请日：2003-8-8    申请号：：JP2003290085   与聚焦离子束同轴筒的装置和扫描电子显微镜，和用于图像形成方法和处理 中文摘要：要解决的问题 : 安装一微机械加工功能的一个FIB(聚焦离子束)系统和一种非破坏性和优异一种SEM(扫描电子显微镜的图像形成功能)成一个单一装置适合用于大批量生产高精度的nanodevices。溶液 : 一个装置与一个同轴筒的一个FBI束和SEM包括一个同轴的FIB和一个电子束允许精确处理由所述FIB使用一个由所述... 申请日：2003-8-7    申请号：：JP2003288887   使用带电粒子束和来自扫描探针显微镜的形貌数据修复光掩模上的缺陷 中文摘要：使用来自扫描探针显微镜或类似装置的形貌数据作为端点检测的替代物，以允许使用带电粒子束系统精确修复相移光掩模中的缺陷。 使用来自缺陷区域的地形数据来创建半透明地形图的显示，该半透明地形图可以叠加在带电粒子束图像上。 操作者可以调节地形图像的密度和两个图像的对准，以便精确地定位光束。 SPM的形貌数据还可用于基于特定点... 申请日：2003-8-7    申请号：：US10636309   用于显微镜的图像处理系统和图像处理装置 中文摘要： 要解决的问题 : 捕获多个拍摄的图像中的多个归一化的图像数据的成像装置的调整亮度，色调和前进中的每个图像的视场角，从而使动态范围的个别图像数据彼此相同方法 : 计算机13存储数据的亮度基准的，数据被参考的颜色，音频和数据的基准的位置到存储器中，并预先设定基准试件的对显微镜1的阶段。曝光时间和增益等的电子相机1... 申请日：2003-8-7    申请号：：JP2003206510   总计： 14021 篇   首 页  上一页  下一页  末 页