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| - 偏振光束分束器，用于显微镜或投影系统或使用网格阵列具有平行UV光刻形成栅极线通过多层系统与交变非-金...
- 中文摘要：所述偏振分束器具有一光学透明的载体衬底(1)平行的栅极线提供与一个阵列(2，3)。通过形成一多层系统，用于接收到的拆分非偏振光束(up)在一给定入射角度成反射和透射偏振光束(TE，TM)。所述单独的层(H，L)的所述多层系统被提供的非-金属介电材料具有不同光学特性与一个交互中另一个。
- 申请日：2003-6-19 申请号：：DE10327963
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- 共焦显微镜
- 中文摘要：要解决的问题 : 以得到高度信息在一个最佳测量条件下高的速度。溶液 : 一个共焦显微镜具有由一个近似曲线的测量条件数据，所述算术操作点的数量，以及一运动相对应的间距以一高速模式或一物镜9精确的方式在其功率和高度在样品10被获取的信息。一个ΔZ由一运动级12被移动节距根据所测量的光学轴Z沿条件数据，和一个近似曲线被发...
- 申请日：2003-6-18 申请号：：JP2003173367
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- 共焦显微镜和方法用于由共焦显微镜测量
- 中文摘要：一个共焦显微镜和一用于通过共焦显微镜测量方法在其一个或多个测量单元的用于检测一个相对移动量被设置到一用于安装一个样品Z阶段，最大值的一由光强度变化曲线表示基于赋予它被估计的相对位置信息和一个相对位置上的信息通过检测所获得的所述物镜的聚光位置的相对位置和所述通过装置的样品所述测量单元，和多个片的光强度的信息包括一个最...
- 申请日：2003-6-18 申请号：：WOJP03007750
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- 一种测量样品尺寸的方法及扫描电子显微镜
- 中文摘要：本发明抑制了在半导体样品等表面上形成的图案体积的减小，或者进行精确的长度测量，而不管这种减小如何。 在带电粒子射线装置中，通过用带电粒子射线扫描每个样品的表面并检测从样品释放的二次电子来测量在样品上形成的图案的线宽和其它长度数据， 所述带电粒子束的扫描线间隔被设置成不超过由样品的物理特性规定的辐照密度。 或者根据预...
- 申请日：2003-6-18 申请号：：US10450852
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- 显微镜装置
- 中文摘要：要解决的问题 : 提供一种显微镜的装置能够改变观察位置的一单个或多个培养容器的在一高的速度在该状态将一管用于回流和一贴片用于电位测量。溶液 : 所述的显微镜装置是这样构成 : 一显微镜壳体5具有一物镜透镜6被放置在一个移动台9移动到X-Y方向。还，所述培养容器3包含一样品被放置在样品上方放置部2a设置所述物镜透镜6...
- 申请日：2003-6-17 申请号：：JP2003171820
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