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| - 液相原子力显微镜探头
- 中文摘要：本发明公开了一种液相原子力显微镜探头。于它 依次具有激光器及位置敏感元件(PSD)组成的光电检测系统、 XYZ压电陶瓷、气液隔离盘及微悬臂探针组成的扫描与反馈控 制系统，以及由样品、样品座、液体池和升降台组成的可升降 液相单元。本发明液相原子力显微镜探头结构简洁，技术条件 易于实现，广泛适用于导体、半导体和绝缘体样...
- 申请日：2003-4-28 申请号：：CN03116763.2
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- 自对准工艺是一种具有沟道场效应晶体管结构的扫描探针显微镜探针的制造方法
- 中文摘要：提供一种方法，用于制造探针的扫描探针显微镜(SPM)具有场效晶体管(FET)通道结构利用自对准工艺制造。所提供的方法包括第一步骤，形成第一形状的掩膜层在衬底上形成源极区和漏极区的区域中的所述衬底的除掩膜层; 第第二步骤，图案化的第一型光致抗蚀剂在垂直方向对所述掩模层和执行蚀刻工艺，以形成第二形状的掩膜层; 以及第三...
- 申请日：2003-4-26 申请号：：JP2004504301
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- 聚焦单元和与所述相同的显微镜配备
- 中文摘要：要解决的问题 : 以提供一聚焦单元，它可以改变所述的移动速度和移动量聚焦部分在很宽的范围通过操作所述聚焦显微镜的手柄，和该显微镜配备与所述相同。溶液 : 所述聚焦单元，其将一物镜11聚焦在样品7中的一个级5上安装被配备有一移动装置15的移动载物台5或该物镜11在一个光学轴; 一个操作部分17，其指示该级5所述的运动...
- 申请日：2003-4-25 申请号：：JP2003122193
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- 显微镜
- 中文摘要：要解决的问题 : 以提供一种显微镜，其特征在于，所述照明的优异的场在两个的低倍率观察和高放大率观察被固定，而不需要光轴调整。溶液 : 在所述显微镜具有一照明光学系统12照射一个对象被观察到的O与一个照明光(L1)从一光源12a通过一开口光阑12e，一种光扩散元件12aF是设置所述开口光阑12e所述的位置上。
- 申请日：2003-4-25 申请号：：JP2003121592
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- 移动台装置和扫描探针显微镜
- 中文摘要：要解决的问题 : 以提供一紧凑的可动台能稳定运动的。溶液 : 一驱动器12之间的XY可动体19被放置，13，14在一底座11和驱动器28; 29，30面向相反的一个上面板27上，以所述驱动元件12，13，14。一弹簧50的一端被连接到所述通过将形成一个三角形的位置的质心该驱动器12，13，14所述底座11上。该弹簧...
- 申请日：2003-4-25 申请号：：JP2003121041
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