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| - 扫描电子显微镜和使用该扫描电子显微镜的样品观察方法
- 中文摘要:根据本发明, 在具有透镜内系统的扫描电子显微镜中,新提供了将物镜的电流设置为零或弱激励状态的第一低倍率模式, 以及第二低放大模式,其将物镜的电流设置为与加速电压的平方根成比例变化的值。 扫描电子显微镜具有在第一低倍率模式下进行正常样品图像(二次电子图像)观察,并且在进行X射线分析时将第一低倍率模式切换到第二低倍率模...
- 申请日:2003-4-4 申请号::US10406455
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- 显微镜和变焦物镜
- 中文摘要:要解决的问题 : 以改变放大率与非常少断-定心的同时,应对该倍率可变范围宽,然后,微观观察中,以提高作业性,和还,以达到降低成本和小型化,作为用于一种显微镜和一变焦物镜透镜。溶液 : 作为用于所述显微镜1,该显微镜1被提供与所述变焦物镜透镜2配备有一第一透镜组3作为一固定组,和一个第二透镜组5作为一变焦组,和一个半...
- 申请日:2003-4-3 申请号::JP2003100186
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- 显微镜,特别是与自适应光学装置的激光扫描显微镜
- 中文摘要:激光扫描显微镜所述显微镜的光束路径中具有一个自适应光学装置包括 : 两个反射元件,其中的在至少一个被形成为一个自适应光学元件和两个其被垂直于所述光束的路径; 和一偏振分束器,所述的分离层,其被放置在所述两个正交的臂顶点该显微镜的光束路径。一个光学元件被设置在每个光束路径臂具有一个附加的波长的长度板和检测该分束器之间...
- 申请日:2003-4-3 申请号::EP03007649
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- 分析在发光的发光体组的一个设备,在特定的一个向荧光显微镜,和分析的设备在这种光源的发光电源组
- 中文摘要:一发光分析装置,特别是用于荧光显微镜,具有一照明组件具有一照明单元,其包括一预装模块装在一壳体,该模块是通过一个LED安装在一板定义,和通过一个光学准直元件一体地连接至所述LED和位于靠近所述LED,该光学元件是一个折反射准直器内制成的透明塑料材料和设计,以传送并发送所发出的光通过所述发光二极管,以产生一基本上平行...
- 申请日:2003-4-2 申请号::IT2003MI0650
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- 二次电子发射显微镜的装置和方法
- 中文摘要:提出了一种使用电子束检查样品表面的装置和方法,特别是但不限于半导体器件。 所述技术被称为二次电子发射显微镜(SEEM),并且与扫描电子显微镜(SEM)和低能量电子显微镜(LEEM)技术相比具有显著的优势。 具体地说,SEEM技术使用具有适合于平行多像素成像的束宽的相对高能初级电子束。 所述电子能量接近电荷稳定条件以...
- 申请日:2003-4-2 申请号::US10406339
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