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| - 原子力显微镜的方法和装置
- 中文摘要：一种用于原子力显微镜的探针模块，具有衬底(33)和从衬底突出的可偏转悬臂探针(4)。 在原子力显微镜的头部中，探针以其轴线垂直于样品表面的方式安装，以便例如进行剪切力显微镜或横向动态力显微镜。 悬臂探针(4)具有反射表面(43)，该反射表面(43)沿着探针向上引导，使得可以使用光束装置来跟踪探针尖端的移动，该光束装...
- 申请日：2003-3-21 申请号：：US10240259
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- 一种扫描电子显微镜的性能测量所述的方法
- 中文摘要：所述一种扫描电子显微镜(SEM)(10)的性能是通过扫描确定的，与该SEM，多孔硅表面区域(PSF，PSC)每个具有不同平均微孔尺寸，计算所述傅里叶变换光谱(Fc)所述的图像的所述表面区和在一零信号外推所述分辨率(R)-对-噪声比(SNR)从所述宽度(W(1\/e))，该信号的振幅(Sa)和所述噪声的偏移(nl)所...
- 申请日：2003-3-21 申请号：：KR1020037004121
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- 光学显微镜聚焦系统包括一个光光束投影系统，其产生一个光点在所述对象平面与所述部分的所述光束沿其长度变...
- 中文摘要：显微装置包括一个物镜系统(3)与一个对象平面(13)。该操作目标和物体平面之间的距离(a)是可调。一个光投影装置是提供用于聚焦分析光(33，34)所述对象上，以产生至少一个光点(39)所述对象平面上。所分析的光束的形状，使得其沿所述光束路径的横截面轮廓的变化。该显微装置还包括一个空间分辨辐射检测器(51)用于成像的...
- 申请日：2003-3-21 申请号：：DE10312682
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- 共焦显微镜装置
- 中文摘要：一种共焦显微镜装置，包括 : 第一光学扫描系统，使用来自第一激光光源的激光束获得样品的扫描图像； 第二光学扫描系统，其利用来自不同于第一激光源的第二激光源的激光束扫描样品的特定区域； 从而引起特定的现象；以及光束直径可变机构，其能够改变第一光学扫描系统和第二光学扫描系统中的至少一个的激光束的光束直径。 利用这种结构...
- 申请日：2003-3-21 申请号：：US10393721
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- 显微镜系统
- 中文摘要：本发明提出了一种用于对物体成像的显微系统，包括 : 显微光学系统，其包括具有物平面(13)的物镜系统(3)，所述物平面与所述物镜系统的工作距离(a)是可调节的；以及第一投影系统，其用于将至少一个成形的分析光束(33，34)投影到所述物体上并用于在所述物体上产生至少一个光点(39)。 分析光束(33，34)被成形为使...
- 申请日：2003-3-21 申请号：：US10393358
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