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| - 飞秒强电流高亮度电子显微镜装置
- 中文摘要:飞秒强电流高亮度电子显微镜装置,其特点是它 由两部分构成,依次为第一部分的飞秒激光器、滤光片和透镜 组;第二部分包括在一真空外壳内的光阴极、加速阳极、电磁 透镜和接收器荧光屏;所说的飞秒激光器(是)一台Nd:YAG 二倍频激光器,所说的滤光片用来调节飞秒激光器的输出功率 密度,所说的透镜组是经过消色差的透镜组,所说...
- 申请日:2003-2-28 申请号::CN03115583.9
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- 用于耦合光射线装置为显微镜
- 中文摘要:要解决的问题 : 以提供一种光射线的耦合装置,其被简单地和versatilly适用于投影一种显微镜的照明光路径。溶液 : 优选的是一卤素灯等的激光光,其是从光纤15传输的被成像的一种止挡面8用于一照明场通过准直器6和一中继透镜7和上后,成像一个样品平面11通过一个透镜镜筒透镜9用于投影照明和一物镜透镜10提供与一物...
- 申请日:2003-2-27 申请号::JP2003051907
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- 光刻过程使用扫描电镜和光学显微镜检查系统
- 中文摘要:目的 : 一光刻工艺使用一种扫描电子显微镜检查系统和一光学显微镜是提供以得到一种从一个晶片上的区域的轮廓和降低检查过程的一个周期通过使用多个反射器的用于检查一晶片上的区域,构成 : 一光刻工艺的检查系统包括一种扫描电子显微镜和一光学显微镜,以便检查简档中的一个晶片(30)一种光刻过程后,所述的光学显微镜(10)包括...
- 申请日:2003-2-26 申请号::KR1020030012075
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- 用于扫描探针显微镜的扫描机构,和扫描探针显微镜
- 中文摘要:要解决的问题 : 以提高刚度的一扫描机构,和以较低的高度,在一个扫描探针显微镜。溶液 : 该扫描探针显微镜是配备有一级2用于在其上放置一个测量对象S,一探针P要接近或接触,与所述测量对象,和一扫描机构8用于移动相对所述探针在所述三-维方向相对于所述测量对象。所述扫描机构是配备有一水平微运动机构9可相对移动所述的探针...
- 申请日:2003-2-26 申请号::JP2003048591
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- 扫描传输电子显微镜
- 中文摘要:要解决的问题 : 以提供一个扫描传输电子显微镜能够提高检测的吞吐量的一种的暗场图像,并检测所述暗的场图像中抑制噪声和具有高图像质量。溶液 : 该扫描传输电子显微镜是用于检测所述暗场图像,通过扫描样品与一种电子束以检测由所述样品的非弹性散射电子强度。该显微镜具有 : 一个电子检测器设置在所述显微镜的光轴周围的环形区域...
- 申请日:2003-2-25 申请号::JP2003047192
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