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  • 扫描电子显微镜
  • 中文摘要:要解决的问题 : 以提供一种扫描电子显微镜,提高了吞吐量,甚至如果它是观察到的与一个样品带电为负电位。溶液 : 一样品台10,一个样品载臂1和承载轨道7是通过电阻器接地的一种,R,R具有预定电阻值。
  • 申请日:2003-2-24    申请号::JP2003046066

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  • 扫描电子显微镜
  • 中文摘要:要解决的问题 : 以提供一种扫描电子显微镜通过降低在所述灵敏度和所述的还原该扫描引起的范围,当一个检测器离开一个样品被消除,和一个二次电子,其上的冲击被检测由一个通过扫描产生的磁场的线圈被消除。溶液 : 所述显微镜包括物镜2辐射的带电粒子到所述试样; 闪烁器11,它是在所述相同的轴3的一个电子光学系统和设置在所述物...
  • 申请日:2003-2-24    申请号::JP2003045874

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  • 共焦探针和共焦显微镜
  • 中文摘要:要解决的问题 : 以提供一个共焦探针构成,使得任何由一个部分上入射的光束要观察可以具有几乎均匀的光的功率通过抑制该损耗量,和还由紧凑和薄的术语中的直径。溶液 : 所述共焦与光纤探针是提供用于引导一束辐射从一光源部分和具有规定波长的宽度为所述共焦探针,一个准直透镜,用于改变所发射的光束从所述所述光纤的端面到平行光束,...
  • 申请日:2003-2-24    申请号::JP2003046628

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  • 扫描电子显微镜
  • 中文摘要:本发明实现了高分辨率的图像观测,获得了样品的不规则信息。 利用设置在漏磁场型物镜(7)的电子源(1)侧的检测器(10a,10b)检测在与试样(8)的表面成小角度的方向上发射的反射电子(12a),形成试样图像。 从样本图像中出现的光和阴影的影响获得样本的不规则性信息。
  • 申请日:2003-2-20    申请号::US10368440

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  • 显微镜与一个光学滤波器识别单元
  • 中文摘要:显微镜具有光学组件,其可以被放置在所述照明光束的路径,观察或检测光光束以创建一个光谱效果。一种多色光源和本发明还提供了光谱传感器,其后测量从所述的多色光源的光与所述光学部件的交互。所述测量频谱与存储的值和所述测量值被比较值分配给预存储值一起与从一个部件-改变装置位置信号。本发明还涉及一种相应的方法。通常一个白色LE...
  • 申请日:2003-2-20    申请号::EP03003797

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