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  • 使用扫描电子显微镜检查装置
  • 中文摘要:一种检查装置(1)使用一种扫描电子显微镜(6a)能够非破坏性检查和测量的所述的任何部分一个检查对象不被限制通过所述检查对象的尺寸,包括一局部真空形成部分(9)。用于形成一局部真空通过屏蔽所述周边区域的所述检查对象的所述检查部分从所述外部空气,所述局部真空形成部分还包括一个放电部分,用于排出空气,以形成所述局部真空区...
  • 申请日:2003-1-21    申请号::WOJP03000479

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  • 显微镜autofocussing模块与使用辅助光光源和两个光束的聚焦检测方法,其模块
  • 中文摘要:用于显微镜系统的自动聚焦模块(2)包括 : 至少两个光源(20,21)每个产生的一个用于聚焦光束(22); 光偏转器或棱镜(27,32)用于偏转的一部分的每个光束分成一束,其被用于照亮物体; 和至少第一和第二检测器(35,45)用于检测从各个光源发出的光反射从所述对象。独立权利要求书是包含用于 : (1)一对应的显...
  • 申请日:2003-1-21    申请号::EP03100111

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  • 荧光显微镜及其标本载玻片
  • 中文摘要:提出了提高测量荧光层的空间分辨率或灵敏度的实施例, 包括一个实施例,其中提供了一种标本载玻片,该标本载玻片本身不是荧光的,是板状的,并且具有至少一个具有荧光吸收性能的板侧,或者具有用于荧光辐射的抗反射涂层。
  • 申请日:2003-1-21    申请号::GB0301330

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  • 扫描透射电子显微镜的方法和装置
  • 中文摘要:一种扫描透射电子显微镜(STEM),其提供与扫描电子显微镜(SEM)基本相同的操作便利性,并且提供与透射电子显微镜(TEM)基本相同的分辨率。 本发明的杆基于SEM的构成而构成。 所述杆包括 : 电子源,用于产生初级电子束; 将来自电子源的初级电子束会聚到用于照明的样品上的电子照明透镜系统; 一个电子偏转系统,用于...
  • 申请日:2003-1-17    申请号::US10346138

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  • 用于显示图像的方法扫描探针显微镜和扫描探针显微镜
  • 中文摘要:要解决的问题 : 以提供一种方法用于显示图像的一个扫描探针显微镜等能够容易地和unmistakably设定扫描区域包括一个周边部分的一特定部分在所述的详细的观察所述特定部分中存在所述扫描图像的区域和外围部分,以提供所述扫描探针显微镜。溶液 : 本发明的一个图像区域R1是一个显示装置14上显示所述的基础上的一信号通过...
  • 申请日:2003-1-17    申请号::JP2003009377

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