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| - 显微镜系统
- 中文摘要：要解决的问题 : 以提供一显微镜系统，其可以容易地处理一种的多个种类的切换不同的观察方法或同时使用。溶液 : 所述的显微镜系统具有一个激光束源(1)，一个光路分离部(2)，用于分离所述的光学所述激光束的路径从所述激光束源，以至少两个，多个的光纤维(3和4)分别由入射与所述光学路径上的所述激光束分离在所述光路分离部和...
- 申请日：2003-1-9 申请号：：JP2003003503
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- 具有环形照明孔的电子显微镜
- 中文摘要：在具有相衬成像的透射电子显微镜中，用环形照明孔径对要成像的物体进行照明。 具有中心孔径的环形相移元件布置在相对于物平面变换的平面傅立叶中。 环形相移元件使零光束产生一个1/2的相移， 同时在物体上沿光轴方向衍射的较高衍射级的辐射通过环形相移元件的中心孔径，因此不受相移元件的影响，或仅受相移元件的轻微影响。 优选地，...
- 申请日：2003-1-9 申请号：：US10339276
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- 扫描探针显微镜和使用该扫描探针显微镜的样品观察方法以及半导体器件制造方法
- 中文摘要：为了提供一种扫描探针显微镜，该扫描探针显微镜能够在不损坏样品的情况下同时测量与样品的局部特征有关的高通量分布信息，通过提供光学类型的高灵敏度接近传感器来控制样品和探针的接近，从而提高接近每个测量位置的速度。 另外，通过使探针间歇地与样品接触，在确保探针不在样品上被拖动的同时，通过以下方式不降低扫描速度地获得与样品上...
- 申请日：2003-1-9 申请号：：US10340517
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- 检测器用于环境扫描电子显微镜
- 中文摘要：
- 申请日：2003-1-9 申请号：：GB0300474
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- 原子力显微镜多维传感系统
- 中文摘要：本发明提供了一种具有创新的传感系统的扫描探针显微镜工具。 扫描探针显微镜工具包括具有部分反射表面的特殊悬臂，该部分反射表面使得扫描探针工具更有能力。 所述扫描探针显微镜工具还包括至少一个光源，所述光源用不需要聚焦并且可以被准直的光束照射所述悬臂。 另外，光束可以大于振荡器的尺寸并且可以照射多于一个悬臂。 所述扫描探...
- 申请日：2003-1-8 申请号：：US10338381
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