|
| - 能够实现扫描电子显微镜成像，同时防止样品对半导体制造工艺中使用的敏感层的损伤
- 中文摘要：在所述半导体晶片的电子束成像期间，所述电子束被调整到低于所述损伤阈值的第一电子剂量/nm2/小时的值，以用于所述半导体晶片上的所述部位的图像帧抓取。 然后将电子束调整到不同于用于部位的第二图像帧抓取的第一电子剂量/nm2/时间值的第二电子剂量/nm2/时间值。 第二电子剂量/nm2/小时值可以高于损坏阈值。
- 申请日：2021-6-24 申请号：：KR1020227043962
-
- 一种测量扫面电子显微镜电子束斑尺寸的方法
- 中文摘要：本发明公开了一种测量扫面电子显微镜电子束斑尺寸的方法，所述测量工具包括：电子束输出组件、束斑测量组件和支架，所述竖板测量组件安装在支架表面并与其滑动连接，所述电子束输出组件安装在支架的顶部。本发明通过同步驱动束斑测量组件和电子束输出组件，以实现束斑测量组件与电子束做同步运动，可以实时对扫描电子显微镜的电子束斑大小进...
- 申请日：2021-6-24 申请号：：CN202110705873.2
-
- 一种基于原子力显微镜的电化学反应过程原位监测装置及其监测方法
- 中文摘要：本发明公开了一种基于原子力显微镜的电化学反应过程原位监测装置及其监测方法，本发明通过将原子力显微镜和电化学工作站联合使用，使得原子力显微镜可以原位监测得到电化学反应过程中界面微观结构上的衍变信息。所述的测试装置将局域镀金的硅片作为工作电极、银丝和铂线分别作为参比电极和对电极实现；本发明的方法适用于各种电化学过程，如...
- 申请日：2021-6-23 申请号：：CN202110695551.4
-
- 一种测量扫描电镜电子束流的法拉第杯
- 中文摘要：本实用新型提供了一种测量扫描电镜电子束流的法拉第杯，其可以精确测量扫描电镜入射电子束流强度，且其结构简单、操作方便。其包括：杯盖，其包括一厚度方向贯穿的入射孔；杯体，其包括有一厚度方向内凹的内凹盲孔；绝缘底托，其用于隔绝样品台和杯体；所述杯盖盖装于所述杯体的上表面，所述入射孔朝向所述内凹盲孔设置；其还包括有一绝缘导...
- 申请日：2021-6-22 申请号：：CN202121383978.2
-
- 一种防感染式光学显微镜
- 中文摘要：本实用新型公开了一种防感染式光学显微镜，包括底座，所述底座的顶部固定连接有矩形座，所述矩形座上设有调节组件，调节组件上固定连接有载物台，所述矩形座的右侧固定连接有显微镜主体，所述载物台位于显微镜主体的底部下方，所述底座的顶部固定连接有动力箱，所述动力箱内设有动力组件，动力组件上固定连接有吸尘管，本实用新型结构合理，...
- 申请日：2021-6-22 申请号：：CN202121389569.3
-
|