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| - 监测半导体衬底的层之间的覆盖或对准中的至少一个的方法,扫描探针显微镜系统和计算机程序。
- 中文摘要:本发明涉及一种使用扫描探针显微镜系统监视半导体的第一层和第二层之间的重叠或对准的方法。 该方法包括使用探针针尖扫描衬底表面,以在至少一个扫描方向上获得第一层和第二层的形貌的测量结果。 产生至少一图案模板,该图案模板与该第一层的地形相匹配,以决定一第一候选图案。 所述第一候选图案与所述测量的第二形貌相匹配,以获得表示...
- 申请日:2021-5-11 申请号::WONL21050304
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- 一种显微镜镜头倍率切换装置
- 中文摘要:本发明公开了一种显微镜镜头倍率切换装置,涉及显微镜技术领域,包括显微镜体、支撑架和镜筒,所述显微镜体的顶部与支撑架的底部转动连接,所述镜筒位于支撑架的右侧设置,所述镜筒的外壁卡接有调节环,所述调节环的外壁与支撑架的外壁滑动连接,所述镜筒的底部下方设置有镜头调节装置。本发明通过设置的调节环和卡位装置的配合,不仅能够对...
- 申请日:2021-5-10 申请号::CN202110503788.8
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- 扫描电子显微镜中原位静-动态疲劳力学性能测试仪器
- 中文摘要:本发明涉及一种扫描电子显微镜中原位静?动态疲劳力学性能测试仪器,属于科学仪器与材料测试技术领域。包括驱动单元、支撑单元、夹持单元、测量单元及加热单元;支撑单元,支撑夹持单元,与扫描电子显微镜的移动平台连接;驱动单元包括准静态力学载荷加载机构和动态疲劳载荷加载机构两部分,构建静?动态力学载荷耦合的加载环境;测量单元测...
- 申请日:2021-5-10 申请号::CN202110502918.6
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- 一种适用于大尺寸样品成像的显微镜组件
- 中文摘要:本发明属于荧光显微镜成像技术领域,具体涉及一种适用于大尺寸样品成像的显微镜组件。一种适用于大尺寸样品成像的显微镜组件,包括成像仓和样品架,所述样品架设置在所述成像仓腔体内,所述样品架固定连接于一三维位移平台。本发明提供了一种适用于大尺寸样品成像的显微镜组件,用于大尺寸透明化生物样品成像,采用较大尺寸的成像仓,适用于...
- 申请日:2021-5-10 申请号::CN202110504747.0
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- 一种荧光显微镜光谱显微成像装置
- 中文摘要:本实用新型涉及荧光显微镜技术领域,公开了一种荧光显微镜光谱显微成像装置,包括:机台,上面右侧固定连接有检测机箱,检测机箱左端面开设有入口;样品盒,滑动搭接在所述机台上面,且样品盒底部中间位置活动嵌入有竖直向下分布的限位滑块;样品除尘机构,设置在所述检测机箱左侧壁。本实用新型操作人员将样品放置在样品盒内,然后将样品盒...
- 申请日:2021-5-7 申请号::CN202120961227.8
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