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  • 具有自由形态照明系统的高性能EUV显微镜
  • 中文摘要:一种具有自由形态照明系统的高性能EUV显微镜,包括:EUV光源,输出EUV光; 一个球面镜,其接收并反射从EUV光源输出的EUV光,并且包括用于通过双轴角度扫描来控制入射光的反射方向的双轴驱动部; 一个平面镜,其接收从球面镜反射的反射光并向测量目标提供照明光,并且其中以每个角度布置有多个镜单元; 波带片透镜,用于聚...
  • 申请日:2023-5-26    申请号::US18202301

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  • 用于电子显微镜的任意电子剂量波形
  • 中文摘要:一种装置可以包括电子源、检测器和偏转器。 电子源可以指向样品区域。 检测器可以接收电子信号或电子诱导信号。 偏转器可以定位在电子源和样品之间。 偏转器可以根据具有连续可变时间分布的电子剂量波形来调制指向样品区域的电子源的强度。
  • 申请日:2023-5-24    申请号::US18201536

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  • 一种用于倒置荧光显微镜的多通道荧光激发装置
  • 中文摘要:本实用新型公开了一种用于倒置荧光显微镜的多通道荧光激发装置,设有主机,其内部设有直线移动机构、LED灯电路板、透镜、转盘和多个滤光模块,且滤光模块的侧面、底面和顶面分别设有侧面透过孔、底面透过孔和顶面透过孔,通过直线移动机构带动不同的LED灯珠移动至与透镜共轴的位置,以及通过转盘带动不同的滤光模块旋转到光出射位置,...
  • 申请日:2023-5-24    申请号::CN202321272856.5

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  • 原子力显微镜及其探针组件
  • 中文摘要:本发明公开了一种原子力显微镜的探针组件,包括形成有探针孔的探针基座以及设置在探针孔中的扫描探针,所述扫描探针包括悬臂梁,所述悬臂梁的第一端连接到探针孔的侧壁上,第二端与探针孔的侧壁之间具有间隙;所述悬臂梁的下表面临近于第一端的位置设置有压力传感器,所述悬臂梁的下表面临近于第二端的位置依次叠层连接有压电陶瓷层和探针针...
  • 申请日:2023-5-24    申请号::CN202310589602.4

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  • 一种基于分子动力学纳米压痕验证接触塑性对轻敲式原子力显微镜相位贡献的方法
  • 中文摘要:本发明公开了一种基于分子动力学纳米压痕验证接触塑性对轻敲式原子力显微镜相位贡献的方法,包括以下按步骤:根据样品及针尖建立纳米压痕初始模型,根据模拟材料及运动特征,设定纳米压痕过程运行环境参数,将模型弛豫消除初始构型缺陷并使能量稳定,设置压头运动方式进行纳米压痕仿真,并采集压入过程中的压头受力及位移数据,分析计算是否...
  • 申请日:2023-5-23    申请号::CN202310585886.X

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