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| - 一种金相显微镜用便携光源
- 中文摘要:本实用新型公开了一种金相显微镜用便携光源,包括外壳,所述外壳为沿轴向贯通的圆筒状,所述外壳的两端分别为上开口及下开口,所述外壳内沿轴向设有若干层可发光的环形光带,若干层所述环形光带均与所述外壳同轴设置,所述外壳靠近下开口的一端的左右两侧铰接设有一对支撑脚,所述外壳靠近上开口的一端左右两侧铰接设有第一螺套,所述支撑脚...
- 申请日:2021-2-23 申请号::CN202120403546.7
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- 在防止半导体制造工艺中使用的敏感层上的样品损伤的同时,能够进行扫描电子显微镜成像
- 中文摘要:在半导体晶片的电子束成像期间,电子束被调节到第一电子剂量/nm2/时间值,该第一电子剂量/nm2/时间值低于半导体晶片上的位置的图像帧捕获的损伤阈值。 然后将电子束调整到不同于该位置的第二图像帧抓取的第一电子剂量/Nm2/时间值的第二电子剂量/Nm2/时间值。 第二电子剂量/nm2/时间值可以高于损伤阈值。
- 申请日:2021-2-23 申请号::US17182925
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- 一种快速有效的基于机器视觉的智能校正显微镜光轴的方法及其实现系统
- 中文摘要:本发明涉及一种快速有效的基于机器视觉的智能校正显微镜光轴的方法及其实现系统,包括:(1)采集显微镜下的亮度图像;(2)对比度增强;(3)定位亮度最大值的位置;(4)机器视觉测量:像素与物理距离的映射关系;(5)定性分析:判断是否合轴,是的话,判定合轴,否则,进入步骤(6);(6)定量分析:确定物镜移动的方向和距离,...
- 申请日:2021-2-23 申请号::CN202110200694.3
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- 一种透射电镜的检验方法
- 中文摘要:本申请实施例公开了一种透射电镜的检验方法,所述方法包括:提供一单晶硅样品;校准透射电镜的第一放大倍率,第一放大倍率大于预设放大倍率;形成位于单晶硅样品上的多个沟道孔;在小于第一放大倍率的多个第二放大倍率下,通过椭圆拟合测量各个第二放大倍率下多个沟道孔中至少三个目标沟道孔的孔间距;将多个第二放大倍率中最高第二放大倍率...
- 申请日:2021-2-23 申请号::CN202110202374.1
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- 锚定到阵列设计的扫描电子显微镜图像
- 中文摘要:扫描电子显微镜从光学检查系统接收晶片的结果文件。 结果文件包括晶片上的锚点。 使用扫描电子显微镜产生晶片上锚点处的缺陷检查图像。 设计剪辑在定位点处与缺陷检查图像对齐,由此产生对齐的缺陷检查图像。 对准的缺陷检查图像用于缺陷检测。
- 申请日:2021-2-22 申请号::US17182192
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