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  • 在物镜内包括滑动样品台的带电粒子束如电子显微镜的装置
  • 中文摘要:本发明提供一种带电粒子束装置,例如电子显微镜,其包括样品台,该样品台能够围绕物镜的下极片在平面上滑动。 样品台被限制在具有一个弹性突起和一个或多个弹性力接收部分(例如三个永久突起)的样品台中,所述弹性力接收部分接触并按压所述台。 当对样品进行显微检查时,扰动振动不能产生足以克服样品台与物镜平面之间的极限摩擦的力。 ...
  • 申请日:2021-2-18    申请号::US17178249

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  • 带电粒子束装置,扫描电子显微镜和操作带电粒子束装置的方法
  • 中文摘要:描述了一种带电粒子束装置(100)。 该带电粒子束装置包括:第一真空区域(121),其中布置有用于沿着光轴(A)发射带电粒子束(102)的带电粒子束发射器(105); 第二真空区域(122),位于第一真空区域的下游,并通过具有第一差动泵送孔(131)的第一气体分离壁(132)与第一真空区域隔开; 其中第一差动泵送孔...
  • 申请日:2021-2-17    申请号::US17177926

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  • 双模式修复显微镜
  • 中文摘要:一种显微镜系统(100),其被配置为以至少第一和第二成像模式(501)记录图像, 502), 包括: 物镜(1),从样品(11)收集光(201); 耦合到物镜的照明模块, 产生样品的中间图像的第一再成像物镜(5)和将中间图像中继到检测模块上的第二再成像物镜(6), 评估模块(200),包括机器学习方法(DL), 用...
  • 申请日:2021-2-17    申请号::WOEP21053904

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  • 用于调节扫描透射电子显微镜的系统和方法
  • 中文摘要:[问题]为了方便,光学系统的调节是扫描透射电子显微镜。 [解决方案]一种用于获得扫描透射电子显微镜的扫描电子探针样品,包括: 一种聚焦透镜和物镜,包括光学系统, 设置物镜后焦面或共轭面后焦面, 成像装置拍摄[Ronkiguramu[Ronkiguramu], 光学系统控制部的调整, 其中,控制部,对因探针与试样的相...
  • 申请日:2021-2-12    申请号::JP2021020734

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  • 显微镜装置
  • 中文摘要:一种显微镜装置(10),包括:具有正交X,Y和Z轴的成像体积; 具有焦平面的照相机(211); 用于照明成像体积的光源(110, 120); 以及Z台移动系统(131, 132),用于成像体积和焦平面在Z轴上的相对移动。 使用显微镜装置(10)通过一种方法获得显微生物物体(S)的图像,该方法包括:使用照相机(211...
  • 申请日:2021-2-11    申请号::WOEP21053296

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