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| - 基于原子力显微镜的测量装置及台阶面测量方法
- 中文摘要：本发明涉及一种基于原子力显微镜的测量装置及台阶面测量方法，原子力显微镜扫描头固定设置，在测量过程中静止不动，原子力显微镜扫描头扫描测量被测物体表面的轮廓面参数并生成检测信号，原子力显微镜信号调理装置将检测信号调理之后传递给平台控制器，平台控制器根据检测信号控制定位平台相对原子力显微镜扫描头运动而使原子力显微镜扫描头...
- 申请日：2020-5-25 申请号：：CN202010451028.2
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- 显微镜玻片自动扫描仪
- 中文摘要：本发明公开一种显微镜玻片自动扫描仪。所述扫描仪包括：支架、显微镜物镜、电子目镜、聚光光源、自动载物台、Z轴焦距自动调整装置、三轴步进电机驱动与控制系统。所述扫描仪在计算机控制下完成不重复和不间断扫描与图像采集。
- 申请日：2020-5-25 申请号：：CN202010447589.5
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- 用电子束扫描电子显微镜以非破坏性方式对先进半导体器件中特征的高分辨率三维轮廓测量
- 中文摘要：使用当SEM的电子束撞击到包括3D特征的选定区域时模拟所述3D特征内的电势分布的模型获得多个能量过滤器值。通过分析模拟的所述电势分布，提取所述多个能量过滤器值与所述3D特征沿纵向方向的相应深度之间的对应性。获得所述3D特征的与所述多个能量过滤器值对应的多个SEM图像。基于所提取的在所述多个能量过滤器值与相应深度之间...
- 申请日：2020-5-22 申请号：：CN202010446578.5
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- 一种光学显微镜的凸轮变倍结构
- 中文摘要：本实用新型涉及光学器材领域，具体涉及一种光学显微镜的凸轮变倍结构，包括导向筒、凸轮和镜头；所述导向筒侧壁上开设有轴向的第一导向槽，所述导向筒顶端连接有第一挡环，所述导向筒底端连接有第二挡环；所述凸轮呈筒状，所述凸轮套设于导向筒外部，所述凸轮位于第一挡环和第二挡环之间，所述凸轮顶端与第一挡环接触。本实用新型的有益效果...
- 申请日：2020-5-22 申请号：：CN202020869406.4
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- 多射束扫描电子显微镜
- 中文摘要：多射束扫描电子显微镜。用于检查样本的可变多射束带电粒子装置包含：多射束源，其产生多个带电粒子细束；物镜；样本固持器，其用于在所述物镜和所述多射束源之间固持所述样本；以及聚焦柱，其引导所述多个带电粒子细束使得其入射到所述样本上。所述聚焦柱引导所述多个带电射束使得存在所述多个带电粒子细束的一个或多个交叉，其中每一交叉对...
- 申请日：2020-5-22 申请号：：CN202010443024.X
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