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  • 用于校准扫描带电粒子显微镜的方法
  • 中文摘要:提供了一种用于校准扫描带电粒子显微镜例如扫描电子显微镜(SEM)的方法。 所述方法包括:将晶圆划分为多个区域; 在所述多个区域中的每一个上制备图案,所述图案包括与第二周期性结构交错的第一周期性结构,所述第一和第二周期性结构具有感应偏移; 确定所述第一和第二周期性结构的实际间距,从而确定所述多个区域中的每一个上的实际...
  • 申请日:2023-3-24    申请号::US18126322

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  • 一种受激发射损耗超分辨显微镜、设计方法、系统及介质
  • 中文摘要:本申请公开了一种受激发射损耗超分辨显微镜、设计方法、系统及介质,涉及显微镜技术领域。该显微镜中,激发光束和损耗光束在传输的过程中始终属于同一光束,即实现了激发光束的光斑与损耗光束的光斑的精确对准,得到了适用于STED显微镜的光束;去除了传统STED显微系统中的合束过程,使得不易受环境的影响而导致分辨率下降,极大地提...
  • 申请日:2023-3-23    申请号::CN202310287288.4

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  • 一种多功能LED光源显微镜系统
  • 中文摘要:本发明公开了一种多功能LED光源显微镜系统,包括:柜体以及位于柜体内部的多功能LED光源装置、自动升降平台、升降控制装置、光学镜、镜头支架、温控模块以及测光模块、位于柜体外部的软件控制模块、信号发生模块,自动升降平台固定在光学镜的顶部,镜头支架与光学显微镜头固定连接,升降控制装置与镜头支架连接,用于带动镜头支架沿竖...
  • 申请日:2023-3-23    申请号::CN202310295744.X

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  • 一种扫描电镜及其加热机构
  • 中文摘要:本发明公开一种适用于扫描电镜的加热机构,包括激光器、壳体组件和样品夹持件,样品夹持件的夹持孔能够容纳样品,激光器发射的激光束穿过加热孔进入壳体组件的内腔中,并照射到样品上,壳体组件还设置观察孔,保证扫描电镜的正常工作。本发明利用激光直接加热样品,代替钨丝作为热源,激光具有方向性好,能量高、稳定、集中的特点,作用于物...
  • 申请日:2023-3-21    申请号::CN202310278302.4

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  • 处理用于在诸如透射电子显微镜的带电粒子设备中研究的样品的系统和方法
  • 中文摘要:本发明涉及一种样品处理和存储系统。 所述系统用于存储和处理样品,所述样品可以是低温样品,所述低温样品被布置成用于带电粒子显微术,例如用于冷冻透射电子显微镜的冷冻电子显微镜样品。 该系统包括用于存储多个样品的存储装置,以及在远离所述存储装置的位置处的带电粒子装置(CPA),例如低温TEM。 该系统还包括传送设备,该传...
  • 申请日:2023-3-21    申请号::US18124465

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