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  • 一种高荧光收集率手持式显微镜
  • 中文摘要:本发明涉及微型显微镜技术领域,具体为一种高荧光收集率手持式显微镜,包括显微镜镜体,所述显微镜镜体上设有显微物镜镜体,所述显微物镜镜体连接有用于将荧光光子转化为电信号的光电检测器,所述光电检测器为环形,且套设于显微物镜镜体上,所述光电检测器包括内圈、外圈,以及连接内圈、外圈的侧面,所述侧面倾斜设置;还包括用于手持的壳...
  • 申请日:2019-12-11    申请号::CN201911268411.8

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  • 一种手持式三维扫描显微镜
  • 中文摘要:本实用新型涉及微型显微镜技术领域,具体为一种手持式三维扫描显微镜,包括扫描器件,所述扫描器件包括镜体,所述镜体上设有镜面,所述扫描器件还包括能够驱动镜体的第一驱动器,所述第一驱动器与镜体固定连接,所述镜面上依次连接有光电检测器、超薄片、滤光薄膜、光学镀膜,所述扫描器件还包括镜框、能够驱动镜框的第二驱动器,所述镜框分...
  • 申请日:2019-12-11    申请号::CN201922220945.5

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  • 用于预测借由扫描电子显微镜(SEM)进行后续扫描之缺陷位置之方法、用于检测晶圆之系统、及相关电脑程式...
  • 中文摘要:?本文揭示一种用于涉及将一图案处理至一基板上之一器件制造制程之电脑实施的缺陷预测方法。非可校正误差用以帮助预测可能存在缺陷之位置从而使得度量衡产出率改良。在一实施例中非可校正误差资讯与由微影系统之透镜硬体、成像狭缝大小及其他物理特性之局限性所致的成像误差相关。在一实施例中非可校正误差资讯与由透镜加热效应诱导之成像误...
  • 申请日:2019-12-11    申请号::TW108145222

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  • 一种显微镜阵列
  • 中文摘要:本发明涉及显微镜技术领域,具体为一种显微镜阵列,包括若干外部激光器、激光光束合束和分配系统,所述外部激光器的输出端均与激光光束合束和分配系统的输入端相连,还包括若干显微镜单体,所述激光光束合束和分配系统输出的光束作为显微镜单体的输入;所述激光光束合束和分配系统的输出端与任一显微镜单体的输入端相连,所述显微镜单体的输...
  • 申请日:2019-12-11    申请号::CN201911268446.1

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  • 一种大视场手持式显微镜
  • 中文摘要:本发明涉及微型显微镜技术领域,具体为一种大视场手持式显微镜,包括显微镜物镜、扫描器,所述显微镜物镜的后焦平面位于显微镜物镜外,所述扫描器位于所述显微镜物镜的后焦平面上;所述显微镜物镜包括若干依次连接的镜片;所述扫描器包括依次连接的光电检测器、超薄片、滤光薄膜、光学镀膜。采用本方案能够获得低成本小体积且具有高数值孔径...
  • 申请日:2019-12-11    申请号::CN201911288473.5

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