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| - 无磁环境扫描电子显微镜
- 中文摘要：本实用新型涉及一种无磁环境扫描电子显微镜，包括：样品台，用于放置样品；电子源，用于产生电子束；聚光镜，用于所述电子源产生的电子束进行第一级汇聚；磁透镜，设于所述聚光镜与样品台之间；且所述磁透镜的极靴与样品台上的样品之间的距离为100mm?200mm，所述磁透镜用于对所述聚光镜汇聚后的电子束的进行第二级汇聚；静电透镜...
- 申请日：2019-10-25 申请号：：CN201921813544.4
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- 用于临界尺寸定位显微镜的装置
- 中文摘要：执行关键尺寸定位显微镜包括 : 使参考人工制品的第一尺寸构件和第二尺寸构件经受关键尺寸度量，所述第一尺寸构件和第二尺寸构件组合，包括关键尺寸，并且每个独立地提供光学对比度； 确定可溯源到国际单位米制的临界尺寸的主长度； 通过光学显微镜对第一维部件和第二维部件在校准光场中成像，校准光场设置在目镜光场中； 根据所述第一...
- 申请日：2019-10-25 申请号：：US16663959
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- 一种双压电体并排惯性驱动的片型旋转马达及扫描探针显微镜
- 中文摘要：本实用新型双压电体并排惯性驱动的片型旋转马达及扫描探针显微镜，包括第一压电体、第二压电体、基座、转盘片、转轴、第一压臂、第二压臂，第一压电体与第二压电体按照形变方向平行固定于基座，两压电体均为片状的伸缩压电体，它们为等厚共面设置，构成双驱动压电片，转轴垂直于转盘片盘面并固定于转盘片中心，构成共轴旋转结构，第一压臂与...
- 申请日：2019-10-25 申请号：：CN201921877735.7
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- 一种双压电体并排惯性驱动的片型旋转马达及扫描探针显微镜
- 中文摘要：本发明双压电体并排惯性驱动的片型旋转马达，包括第一压电体、第二压电体、基座、转盘片、转轴、第一压臂、第二压臂，第一压电体与第二压电体按照形变方向平行固定于基座，两压电体均为片状的伸缩压电体，它们为等厚共面设置，构成双驱动压电片，转轴垂直于转盘片盘面并固定于转盘片中心，构成共轴旋转结构，第一压臂与第二压臂的一端分别固...
- 申请日：2019-10-25 申请号：：CN201911058740.X
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- 一种超高分辨率的原子力显微镜扫描探针及其测量方法
- 中文摘要：本发明尤其涉及一种超高分辨率的原子力显微镜扫描探针包括悬臂探针基底和带有镀层的针尖，镀层包括由外至里依次分布的保护层、铁磁层和非铁磁层，其测量方法是将样品固定在带有超高分辨率的原子力显微镜扫描探针的样品台上，入射激光照射在超高分辨率的原子力显微镜扫描探针上，镀层产生太赫兹到中红外的光谱发射并与样品相互作用，从样品处...
- 申请日：2019-10-24 申请号：：CN201911015394.7
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