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| - 用于校准光源位置的显微镜装置和方法
- 中文摘要：提供了一种根据本公开的实施例的用于校准光源的位置的显微镜设备和方法。 根据本公开的一个实施例的显微镜装置包括：光源单元，被配置为将光照射到对象上，并且包括具有多个发光元件的发光元件阵列； 光学单元，与所述被摄体平行设置，并被配置为形成接收所述辐射光的所述被摄体的放大图像； 图像传感器，被配置为基于通过光学单元形成的...
- 申请日：2019-10-10 申请号：：US16598054
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- 显微镜物镜
- 中文摘要：一种显微镜系统，包括镜筒和包括在所述镜筒中的透镜系统。 所述透镜系统在所述镜筒内限定物镜瞳，其中所述透镜系统包括位于所述物镜瞳中的波前操纵器元件。 波前操纵器元件是可控的，以改变穿过所述物镜瞳孔的光相位。
- 申请日：2019-10-10 申请号：：EP19202479
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- 一种显微镜的物镜电动切换机构
- 中文摘要：本实用新型公开了一种显微镜的物镜电动切换机构，包括固定座、两个固定镶条、滑动板、漏光板、挡光板、驱动组件、三个光电传感器和定位组件，固定座上设置有通光孔，两个固定镶条分别设置在固定座的前侧和后侧，滑动板位于两个固定镶条之间，滑动板安装在两个固定镶条上且受力能沿两个固定镶条做左右方向直线移动，滑动板从左向右间隔设置有...
- 申请日：2019-10-10 申请号：：CN201921690589.7
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- 关键尺寸扫描电子显微镜机台的校准方法
- 中文摘要：本发明涉及一种CDSEM机台的校准方法。包括：提供校准晶圆；在晶圆上选取N个图形区域组成第一测试图形, 在晶圆上剩余的图形区域中选取L个图形区域组成第二测试图形, 使用第一CDSEM机台和第二CDSEM机台分别测试第一测试图形和第二测试图形后得到CD平均值，根据CD平均值判断第一CDSEM机台与第二CDSEM机台是...
- 申请日：2019-10-9 申请号：：CN201910952699.4
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- 一种基于扫描探针显微镜的材料微/纳尺度的磁热信号探测方法
- 中文摘要：本发明提供了一种基于扫描探针显微镜的材料微/纳尺度的磁热信号探测方法，包括扫描探针显微镜平台、具有导电性、导热性与磁性的探针，以及热学回路；首先，接触式探测样品表面形貌，同时热学回路闭合，探测样品的热信号；然后，采用非接触式探测样品的磁信号。与现有技术中通过三次扫描、其中两次为先后采用非接触式扫描得到磁信号和接触式...
- 申请日：2019-10-9 申请号：：CN201910955872.6
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