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| - 显微镜和显微镜检查方法
- 中文摘要：本发明涉及一种显微镜，其具有用于提供激发光的光源， 照明光束路径，具有用于将激发光引导到物平面中的显微镜物镜； 用于将从样品发射的光引导到物平面中的检测光束路径， 特别是荧光， 照相机或检测器， 扫描装置，用于扫描物平面中的激发光； 该扫描装置具有用于使激发光在第一坐标方向上偏转的第一偏转单元和用于使激发光在第二坐...
- 申请日：2019-7-15 申请号：：DE102019119147
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- 扫描电镜与光谱设备联用装置
- 中文摘要：本发明提供了一种扫描电镜与光谱设备联用装置，涉及光学检测仪器技术领域，该扫描电镜与光谱设备联用装置，包括：光谱检测装置、扫描电镜接收装置和电子枪；所述光谱检测装置能够沿第一方向向样品发射激光，所述电子枪能够沿第二方向向所述样品发射电子束，所述扫描电镜接收装置的探头朝向第三方向，用于接收所述样品的表面发出的电子信号。...
- 申请日：2019-7-15 申请号：：CN201910628602.4
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- 扫描电镜与光谱设备联用装置
- 中文摘要：本实用新型提供了一种扫描电镜与光谱设备联用装置，涉及光学检测仪器技术领域，该扫描电镜与光谱设备联用装置，包括：光谱检测装置、扫描电镜接收装置和电子枪；所述光谱检测装置能够沿第一方向向样品发射激光，所述电子枪能够沿第二方向向所述样品发射电子束，所述扫描电镜接收装置的探头朝向第三方向，用于接收所述样品的表面发出的电子信...
- 申请日：2019-7-15 申请号：：CN201921106376.5
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- 低温显微镜组件。 用于低温显微镜组件的密封件和显微镜物镜以及操作低温显微镜组件的方法
- 中文摘要：用于冷冻显微镜检查的冷冻显微镜组件和垫圈及其方法。 在这种情况下，显微镜的显微物镜(10)具有密封件(11)，以便在微球物镜(10)和低温腔(12)之间提供密封。
- 申请日：2019-7-12 申请号：：DE102019118948
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- 利用图案识别以自动地改善扫描电子显微镜(SEM)的轮廓量测精准度及稳定性
- 中文摘要：本发明揭示一种用于借由量测部分地基于一目标设计建构之一经印刷设计上之一特征而改善一制程模型之方法。该方法包括获得a)来自一影像捕捉器件的该经印刷设计之一影像及b)基于该影像中之形状的轮廓。该方法亦包括借由一图案识别程式鉴别该目标设计上之包括该特征的图案，及判定该等轮廓上之对应于该特征的座标。该方法进一步包括借由至少...
- 申请日：2019-7-12 申请号：：TW108124603
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