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| - 超快速电子显微镜
- 中文摘要：电子枪发射电子束。 电子束偏转磁体形成在电子束偏转磁体上。 电子束偏转磁体被配置为在入射到电子束偏转磁体上的电子束沿着电子束偏转磁体中的弯曲轨迹路径行进之后从电子束偏转磁体发射。
- 申请日：2019-6-10 申请号：：KR1020190068249
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- 芯片载体交换装置和具有该芯片载体交换装置的原子力显微镜装置
- 中文摘要：本发明涉及一种用于更换芯片载体的装置和包括该装置的原子力显微镜，该装置能够存储芯片载体并通过将芯片载体供应到原子力显微镜来存储芯片载体。 根据本发明的一个实施例的芯片载体更换装置从扫描探针显微镜的头部接收芯片载体，其中测量单元连接到由磁性材料制成的载体(载体)上， 并向磁头提供一个新的芯片载体。 一种永磁体，所述芯...
- 申请日：2019-6-10 申请号：：KR1020190067896
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- 一种XRD三维晶体学重构三轴样品台、扫描电子显微镜
- 中文摘要：本实用新型属于材料衍射三维重构技术领域，公开了一种XRD三维晶体学重构三轴样品台、扫描电子显微镜，设置有圆形样品台底座；圆形样品台底座中心开有一螺纹孔，圆形样品台底座与旋转台通过螺纹孔用螺栓连接；旋转台与样品台底座间设有滚动轴承，旋转台侧壁设有涡轮；样品台底座上通过螺栓固定有第一电机，第一电机通过涡轮与旋转台中的滚...
- 申请日：2019-6-10 申请号：：CN201920859473.5
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- 一种可自动交换芯片载流子的原子力显微镜及控制方法
- 中文摘要：提供了一种原子力显微镜及其控制方法，通过移除安装在探针手上的芯片载体并提供新的芯片载体来自动更换芯片载体。 根据本发明的一个实施例的原子力显微镜包括视觉装置，该视觉装置被配置为扩大附着到芯片载体的探针表面，该芯片载体可拆卸地固定到探针手的一端，该探针手连接到扫描器，该扫描器可在Z方向上移动。 原子力显微镜包括至少一...
- 申请日：2019-6-10 申请号：：KR1020190067898
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- 用于先进过程控制的集成扫描电子显微镜和光学分析技术
- 中文摘要：样品分析系统包括扫描电子显微镜、光学和/或电子束(eBeam)检查系统和光学测量系统。 该系统进一步包括至少一个控制器。 所述控制器接收所述样品的第一多个选定感兴趣区域； 基于由所述扫描电子显微镜在所述第一多个选定感兴趣区域中执行的所述第一检查来生成第一临界尺寸均匀性图； 基于所述第一临界尺寸均匀性图，确定第二多个...
- 申请日：2019-6-7 申请号：：KR1020217000776
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